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製品の詳細
AT 211シリーズ格子尺方波出力タイプ（細長い高速タイプ）高精度格子尺2 um/m
製品特徴：
1.高精度、高解像度パッケージ型格子定規は、半導体加工システムとCNC工作機械が位置決め時にフィードバック制御を行う理想的なツールである。
2.2種類のモデルを選択可能：AT 211 A多点取付型で、耐震性能を強化した。AT 211 Bは工作機械の両端に取り付けることができる。AT 211 BのサイズはAT 111スリムタイプと同じです。
3.制御装置に直接接続可能な細長いシールド型格子定規。
4.0.1-5 umの広範囲分解能をサポートし、120 m/minの高速応答を実現できる
5.多点固定型は高耐振性を実現した規格である4.格子定規警報表示機能を搭載し、メンテナンスが容易
6.使用目的に応じてラスター定規を選択できる増仕様項目の選択方法
技術パラメータ：
| プロジェクト/モデル | AT211 | |
| 有効測定長さ（L 0） | 100，150，200，250，300，350，400，450，500，600，700，750，800，900，1000，1100，1200，1300，1400，1500mm | |
| グリッド定規原点 | 50 mmピッチ、中央1点、左端1点、右端1点（出荷時固定） | |
| 指示精度（20°C） | （3+3 L 0/1000）um（L 0も作成可能） | |
| たいしんどうとくせい | 200 m/S（条件55-2000 HZ）*多点固定型 | |
| 耐衝撃性 | 250 m/S（条件1/2 sin.11 ms）*多点固定タイプ | |
| ガス供給口 | 有*多点固定型 | |
| しゅつりょくしんごう | 種類 | PA/PA，PB/PB,PZ/PZ |
| 電気仕様 | RS 422準拠 | |
| マスタスケールピッチ | 20um | |
| 解像度 | 0.1,0.2,0.5,1 ,2.5, 5 um（出荷時固定） | |
| エッジ間隔 | 125.250.333.500.1000 ns（出荷時固定） | |
| 応答速度 | 5.4-120 m/min（解像度とエッジ間隔に依存） | |
| 給電電源電圧 | DC5V+/-5% | |
| しょうひでんりゅう | 200MA | |
| すべりりょく | 5 N以下 | |
| 使用温度範囲 | 0-45°C | |
| 保存温度範囲 | - 20-70°C | |
| 温度範囲の使用/保存 | 20～80%RH（結露なし） | |
| 方向切り替え | 正/反（出荷時設定） | |
| アラーム機能 | アラームチェックアウト | 速度超過、グリッドスケール信号異常 |
| アラーム出力方法 | PA/PA、PB/PB、PZ/PZの出力はすべて高インピーダンスである | |
| アラーム表示 | 信号ケーブルNC側コネクタの赤色LED点灯（示度ヘッドケーブル1本のみ搭載仕様を除く） | |
多点固定取付寸法図：
仕様項目の選択：
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