製品紹介：
全体動作タクト：約30 s/件
ヘリウム検査のガス充填圧力：10 bar、検査大漏れの窒素充填圧力は8.5 bar（暫定）
製品漏れ率：2.5 E-5 mball/s（多種）、設備精度は1 E-7 Pam 3/sに達することができる
真空箱の数：3個、各真空箱は1個のワークを検査して、ロボットハンドは材料を上下して、各ワークは独立に遡る
漏れ検出器の開検真空度（真空箱）：≦20 Pa（絶対圧力）
製品抽気圧力：約1000 pa（絶対圧力）
ヘリウム濃度70%、試験終了後のヘリウム回収