Automegasamdri-915 B，Series C臨界点乾燥器

特徴：

• 6”円晶MEMS放出後の縦型超臨界点乾燥器、

• 内部の高効率断熱の冷却循環システムは、システムを室温から0°C近くに迅速に下げることができる、

• Post-Purgeフィルタは交換やメンテナンスが容易である、

• SOTERTM凝縮器を内蔵し、廃棄エタノールと排ガス二酸化炭素を分離する。

• 独自のサンプル室充填ブロックはサンプル室内径を4"、3"、2"、1.25"に調整でき、LCO 2の使用効率と処理時間を最大化することができる、

• 直径6”の円晶5枚を一度に乾燥し、サンプル棚を交換してもよく、直径4”、3”、2”の円晶5枚または辺長10 mmの方晶5枚を一度に乾燥してもよい（HF互換性のあるサンプル棚を提供する）、

• 内腔に照明灯があり、サンプル室の蓋に観察窓があり、サンプル室の内部状態を観察するのに便利である、

• マイクロプロセッシングコントローラにより自動処理プロセスの進行及び結果の再現性を保証する、

• すべての内面は液体二酸化炭素、高純度エタノール、アセトンに適している。

• 繰り返し設定可能な操作パラメータは結果の繰り返し可能性を確保し、

• 統合された自動温度制御、

• 内蔵ディスク破片は安全を保証する、

• 静圧制御モジュール、自動制御システムの圧力と圧力安定性の維持、

• 0.4μm内部フィルタシステムは、清浄なろ過後のLCO 2を試料室に輸送し、

• 各操作モードLED表示、一目でわかる、

• クリーンルームと静電気防止の両立設計、

• すべての電気部品はUL、CE、Uに準拠S.Military標準、

仕様：

• 外寸法：幅19.8”（50.3 cm）×奥行き31.7”（80.6 cm）×高さ44.5”（113.0 cm）、

• 設置面積：幅27”（68.6 cm）×奥行き38”（96.5 cm）、

• 試料室寸法：内径6.50”×深さ1.25”、試料室容積：679 ml、

• 温度範囲：-30℃~ 60℃、圧力範囲：0-2000 psi、

• LCO 2の流速は、ノギス付きマイクロメータバルブによって制御される。

• 120 V/50-60 HZ（その他の電圧を選択可能）、

標準部品：

• 高圧ステンレス鋼LCO 2管（内張りテフロン）の長さ3メートル、

• 外部LCO 2濾過装置、水/油及び粒子（0.5μm未満）を除去し、濾過装置は予めLCO 2管と接続でき、設置が便利である、

• 取付工具

• PURGE/VENT/BLEEDとCOOL時の排気用の静電気防止排気管、

• 内部のステンレス鋼ろ過システムとニッケルめっきろ過システムは共同で線路、ウエハ、バルブを保護する

• 試料室Oリング3個、試料室照明灯2個、3 Aと8 Aヒューズ各2個、

• 試料室の直径が6、4、3、2、1.25インチを含むように、4つのTeflon試料室充填ブロック、

• 直径6、4、3、2インチの円晶のサンプル棚と辺長10 mmの角晶のサンプル棚、サンプル棚HFは互換性がある、

• BLEEDの排気速度を正確に制御する流量計、

• ユーザーマニュアル

• すべての部品は1年間保証されています。