Autosamdri-815，Series B臨界点乾燥器

特徴：

• 正方晶及び1”円晶MEMS放出後の超臨界点乾燥器、

• マイクロプロセッシングコントローラにより自動処理プロセスの進行及び結果の再現性を保証する、

• 電磁弁及び密封はLCO 2、エタノール及びアセトンに適用する、

• 内面は液体二酸化炭素、高純度エタノール、アセトンに適している、

• 繰り返し設定可能な操作パラメータは結果の繰り返し可能性を確保した、

• 運転ごとに5×10 mmの正方晶または5×1”の円晶を処理することができ、（HFに対応できるサンプル棚を提供し、サンプルを処理するのに便利）、

• 統合された自動温度制御、

• 内蔵ディスク破片は安全を保証する、

• 各操作モードLED表示、一目でわかる、

• クリーンルームと静電気防止の両立設計、

• 先進的な固体電子システム、

• 高効率断熱冷却システム：90秒以内にサンプル室を室温から操作に必要な温度まで冷却することができる、

• 静圧制御モジュール、自動制御システムの圧力と圧力安定性の維持、

• 0.4μm内部フィルタシステムは、清浄なろ過後のLCO 2を試料室に輸送し、

• 内腔に照明灯があり、サンプル室の蓋に観察窓があり、サンプル室の内部状態を観察するのに便利である、

• マイクロ計量バルブはノギス付きで、繰り返し設定と流速制御を実現することができる、

• SOTERTM凝縮器を標準装備し、廃棄エタノールと排ガス二酸化炭素を分離する。

• すべての電気部品はUL、CE、Uに準拠S.Military標準、

仕様：

• 外寸法：幅14.0」（35.6 cm）×高さ10.25”（26.0 cm）×長さ21.5”（54.6 cm）、

• 敷地サイズ：幅36”（92 cm）×奥行き30”（76 cm）、

• 試料室寸法：内径1.25”×深さ1.25”、試料室容積：25 ml

• 温度範囲：-30℃~ 60℃、圧力範囲：0-2000 psi、

• Purge時間範囲：0-45 min

• 120 V/50-60 HZ（その他の電圧を選択可能）、

標準部品：

• 高圧ステンレス鋼LCO 2管（内張りテフロン）の長さ3メートル、

• 外部LCO 2濾過装置、水/油及び粒子（0.5μm未満）を除去し、濾過装置は予めLCO 2管と接続でき、設置が便利である、

• SOTERTM凝縮器、廃棄エタノールと排ガス二酸化炭素を分離し、排ガス騒音を低減する、

• PURGE/VENT/BLEEDとCOOL時の排気用の静電気防止排気管、

• 内部のステンレス鋼ろ過システムとニッケルめっきろ過システムは共同で線路、ウエハ、バルブを保護する

• BLEEDの排気速度を正確に制御する流量計、

• 試料室Oリング2個、試料室照明灯2個、5 Aヒューズ2個、

• HF対応の10 mm角結晶PTFEダイセットは、1回の操作で最大5個のウエハを積載できる

• 取付工具一式

• ユーザーマニュアル

• すべての部品は1年間保証されています。