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CAVシリーズシリコンマイクロ衝撃加速度センサ
製品概要：CAVシリーズシリコン微小加速度センサは超小型、薄型の圧力抵抗式MEMS衝撃センサである。製品内部のチップは半導体の圧力抵抗効果を利用して、先進的なMEMS加工技術を通じて製造され、チップ内部に過剰距離バリア構造を設計し、高衝撃と大加速度荷重の作用に耐えることができ、プラスチックパッケージ
製品の詳細
CAVシリーズシリコン微小加速度センサは超小型、薄型の圧力抵抗式MEMS衝撃センサである。製品内部のチップは半導体の圧力抵抗効果を利用して、先進的なMEMS加工技術を通じて製造され、チップ内部に過剰距離バリア構造を設計し、高衝撃と大加速度荷重の作用に耐えることができ、プラスチックパッケージを採用し、体積が小さく、精度が高いという利点がある。
MEMSシリコン圧力抵抗式の原理
±300 g-±5000 gレンジ
体積が小さい
プラスチックパッキング
信頼性が高い
衝撃に強い
MEMSシリコン圧力抵抗式の原理
±300 g-±5000 gレンジ
体積が小さい
プラスチックパッキング
信頼性が高い
衝撃に強い
しょうとつそくてい
しょうげきそくてい
メモ：
1.試験条件：給電電圧＋10 Vdc、室温（除熱零点ドリフト）、熱零点ドリフトは上、下限動作温度と室温で試験する。
2.センサの取り付け時はできるだけしっかり固定し、緩みが測定誤差に導入されないようにしなければならない。取り付け時にセンサが外力に押され、センサ内部構造を損傷しないようにする。
しょうげきそくてい
メモ：
1.試験条件：給電電圧＋10 Vdc、室温（除熱零点ドリフト）、熱零点ドリフトは上、下限動作温度と室温で試験する。
2.センサの取り付け時はできるだけしっかり固定し、緩みが測定誤差に導入されないようにしなければならない。取り付け時にセンサが外力に押され、センサ内部構造を損傷しないようにする。
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