公称寸法外径5 mmのマイクロゲージ圧力センサCYG 505及びその由来のねじ取付型品種CYG 506は、水流動力学のための研究である。縮小型実験に要求される外形寸法は小さく、対流場摂動は小さく、レンジは低く、感度は高く、動的な頻発がよく、専門に設計された小型低レンジ脈動圧力センサー。

CYG 505の圧力感受性素子は先進的なMEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技術を用いて設計と製造、三次元集積、両面加工のシリコン圧力抵抗圧力感受性素子は優れた線形精度、イオン注入、微細リソグラフィ技術によって作製されたホイストン歪ブリッジの高度な一致性を持ち、それを非常に小さな温度ドリフトを持たせた。CAD支援の有限要素分析に基づく最適力学部材設計、レイアウト設計、精密な異方性腐食を加え、低レンジでの線形度と出力感度の矛盾を解決した。2 mm径方向スケール未満のマイクロチップは、20 kpaまでのレンジと優れた線形度を持ち、水工縮型測定の精度と感度の要求を満たしている。

CYG 505は、感知素子の裏面に圧力を受ける動作モードを採用しているので、導電性の水や他の液体媒体に使用することができます。特殊腐食性または溶浸性のある媒体を発注する場合はメーカーと協議してください。

CYG 505は、取付箇所での偶然の浸水による表圧センサの故障を防止するために、通気及び防水保護としてPVCダクトを尾出線に採用し、マイクロケーブルはPVC管の中孔から引き出した。プロセスの難しさから、PVCチューブの最大長さは7 mに制限されている。

CYG 505は表圧モードであり、標準圧力レンジは25、40、60、100、160、250、400、600、1000 kpaである。水工ユーザーを便利にするために、mH 2 O単位で2、3、5、10、20、50、100を注文することもできます。

CYG 505の設計及び製作特許はすでに国家発明特許の授権を受け、2007年度中国国家知識産権局国家発明特許優秀賞を受賞し、特許番号は：ZL.8。

CYG 505センサの低レンジ製品の固有周波数は138 kHzに達し、衝撃波管試験のために検証された。それは0〜20 kHzの使用帯域幅を持ち、上昇時間は1 us未満であり、水工測定の動態要求を満たす。

CYG 506マイクロボルト取付型センサはCYG 505の派生品種であり、その外形寸法は図面を参照する。

1、性能指標パラメータ

2、フルレンジ出力：最小値20 mv典型値60 mv最大値100 mv

3、入出力インピーダンス：最小値3 kΩ典型値5 kΩ最大値7 kΩ

4、入力動作電流：1.5 mA（定電流源）

5、動作温度範囲：-20℃～+80℃（要求に応じて拡幅可能）

6、補償温度範囲：0℃～+50℃（要求に応じて拡幅可能）

7、過負荷能力：定格レンジの200%（最大1.2 Mpaまで）

8、加速度感度：＜0.002%FS/g

9、外形寸法図：

注：CYG 505シリーズ製品の標準製品はマイクロケーブルの長さを5 mに引き出し、5 mの長さを超えて料金を徴収するが、防水保護されたPVCチューブは最長7 mしかカバーできない。