燃焼式Scrubber排ガス処理装置

一、主な特徴

1.独立燃焼方式、完全燃焼の火炎渦流：可燃性毒性ガスは低濃度から100%濃度まで高温処理でき、

2.SiH 4とNF 3、NO 2の同時燃焼：SiH 4とNF 3、NO 2は同時に燃焼室で一緒に燃焼することができ、

3.基本機能の安全設計：異常発生時、診断機能は自動的に安全に処理する、

4.ドクターブレード方式を使用して、粉塵処理が容易：燃焼室内部の付着粉塵は、独立したドクターブレードを使用して容易かつ確実に除去することができ、

5. H2、LPG、天然ガス（LPG）の各種型式：燃料ガスはH 2、LPG、天然ガス（LPG）3タイプ、

6.メンテナンスが簡単：メンテナンスはごく短い時間で完了でき、費用も安い、

7.高い信頼性：構造が簡単で部品数が少なく、信頼性が高い。

二.燃焼式Scrubber排ガス処理装置の処理ガス種類

処理可能ガスの種類には、半導体、液晶、太陽光などの業界におけるエッチングプロセスと化学蒸着プロセスで使用される特別ガスが含まれ、主にSiH 4、SiH 2 Cl 2、PH 3、B 2 H 6、TEOS、H 2、CO、NF 3、SF 6、C 2 F 6、WF 6、NH 3、N 2 Oなどが含まれる。

三.燃焼式Scrubber排ガス処理装置の処理原理

1.冷却空気の一部が燃焼室内に火炎渦を形成し、プロセスガスが完全に燃焼に巻き込まれる、

2.Guardianの火炎渦はSiH 4などのガスを破壊し、その気泡の発生を破壊することができる、

3.冷却空気はテーブル内部を循環し、燃焼室外部は空気を用いて冷却する。排気温度を冷却低下させることができ、燃焼後の酸化物を排出することができるなどの多様な機能を備えている。

4.燃焼室温度、排気温度、Process Gas導入管温度を監視できる熱電対の安全装置。またPhoto sensorは消火を監視でき、差圧計は排気風量を検視できる。