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製品の詳細
10.5リットルのLOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ATTO手動型であり、PCとPCCE制御システムを備えており、主に以下の分野で使用されている：
小ロット生産
解析（REM，TEM）
医療技術
滅菌
研究開発部門
考古学
紡績技術
プラスチック技術
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| プラズマデバイスAtto、手動制御システム付き、プラズマ洗浄器、プラズマアッシング器、プラズマエッチング機、プラズマ活性化システムは、小ロットプロセスの研究開発、洗浄、活性化、エッチングに用いられる | プラズマデバイスAtto、外部PC制御システムを搭載、プラズマ洗浄器、プラズマアッシング器、プラズマエッチング機、プラズマ活性化システムは、小ロットプロセスの研究開発、洗浄、活性化、エッチング-プラズマシステムに用いられる | プラズマデバイスAtto、内蔵型PC制御システムを搭載、プラズマ洗浄器、プラズマアッシング器、プラズマエッチング機、プラズマ活性化システムは、小ロットプロセスの研究開発、洗浄、活性化、エッチング-プラズマシステムに用いられる |
シリーズ |
Atto手動制御 |
Atto外部PCせいぎょ |
Atto統合PC制御 |
せいぎょシステム |
手動型、アナログタイマーによる工程時間の測定 |
PC-せいぎょシステム(Microsoft Windows XP) |
PC-せいぎょシステム(Microsoft Windows CE) |
たいせき |
10.5L |
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しんくうチャンバ |
ガラス材質、∅211 mm、長さ300 mm |
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サンプルホルダ |
1サンプルホルダー |
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ガスげん |
2 ニードルバルブによって制御されるガス通路 |
2 個の由MFCsせいぎょガスチャネル |
2 個の由MFCsせいぎょガスチャネル |
高周波電流発生器 |
40 kHz/200 Wまたは13.56 MHz/50 W,300W |
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しんくうポンプ |
8m3/h |
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外寸法 |
幅525 mm、高さ275 mm、深さ450 mm |
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電源電圧 |
AC220V |
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オンライン照会
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