概要：

ポリパラキシレン（Poly-p-xylene）、商品名Parylene（Parylene）は、化学蒸着法により製造されたポリジメチルベンゼン構造を有するポリマーフィルムの総称であり、極めて優れた電気性能、耐熱性、耐候性と化学安定性を有し、主にParylene N（ポリパラキシレン）、Parylene C（ポリモノクロロパラキシレン）とParylene D（ポリジクロロパラキシレン）の3種類がある。それは真空熱分解気相堆積プロセスを用いて製造され、極めて薄い薄膜を製造することができ、主に薄膜とコーティングとして使用され、電子部品の電気絶縁媒体、保護性塗料と封止材料などに使用される。

動作原理：

この二量体を高温分解して二重ラジカルを発生させ、さらに成膜室に導入して成膜物体表面で凝縮し迅速に重合し、均一で緻密なポリパラキシレンフィルムを得た。

Paryleneコーティングは電子分野で非常に広く使用されており、主に：

基板、半導体装置、集積回路、ハイブリッドマイクロ回路、ハイブリッドマイクロ回路、コンデンサ、マイクロモータ、フェライト、

光学と光電の分野では主に光学光電デバイス、複写技術の光電感光体、レーザー記憶と記録デバイスに用いられる、

生物医学分野で人工人工人工プロテーゼ、埋め込みデバイス、血液分析器などに用いられる、

航空宇宙分野では主に航空宇宙機に用いられ、絶縁保護に用いられる。

Diener P 30ポリパラキシレンコーティングシステムの技術パラメータ：

コーティング材料、ポリパラキシレンN、C,D

コーティング厚さ：0.05 ~ 100μm

加熱炉：4 kW/Max.700℃

コーティングキャビティ寸法：D310*H500mm

Gas injection:homogenous dispersal system

Carrousel:Dia.150mm*H270mm

Pumping system:two-stage rotary vane suction power 25m3/h

Ultimate pressure:1*10-3mbar

Contral:Full PC based contral system on Windows-based

Compressed air:6bars oil free and dry

Exhaust:25mm tube

Dimensions:W1400*D700*1700mm

Connections:3phase/400V/16A/50,60Hz