130リットルの部屋容量とPC制御を備えたTetra 130生産システムは,医療部品のクリーニングとコーティングに使用されます.

特別プラズマシステム Tetra 130-LF-PC

技術データ:

スイッチキャビネット:
W 1800 mm、H 2100 mm、D 1300 mm

部屋:
W 400 mm、H 400 mm、D 810 mm

部屋の容量:
約130リットル

ガス供給:
MFCを介して3つのガスチャネル
（そのうち1x Bubbler経由）
1 ガスチャネル 2/2-way バルブを介してモノマー

発電機:
1枚（13.56 MHz）
（オプション：40 kHz）

制御
産業用フィールドバス付きPC制御（Windows）

プロパティ:
ターボポンプ付きUHV範囲