140リットルの部屋容量とPC制御を備えた生産システムTetra 140は,主にシリーズ生産 (クリーニング,エッチング,活性化,プラズマポリマリゼーション) で使用されます.

特別プラズマシステム Tetra 140-LF-PC

技術データ:

スイッチキャビネット:
W 1000 mm、H 1800 mm、D 1000 mm

部屋:
W 1000 mm、H 100 mm、D 1400 mm

部屋の容量:
約140リットル

ガス供給:
2つのガスチャンネル MFCs、プラズマポリメリゼーションのための液体モノマー投与

発電機:
1枚（40kHz）
（任意：13.56 MHzまたは2.45 GHz）