5600リットルの部屋容量とPC制御を備えた生産システムTetra 5600は,シリーズ生産 (クリーニング,エッチング,アクティベーション) で使用されます.

特別プラズマシステム Tetra 5600-LF-PC

技術データ:

スイッチキャビネット:
W 1800 mm、H 2200 mm、D 1800 mm

部屋:
W 2250 mm、H 2450 mm、D 1000 mm

部屋の容量:
約5600リットル

ガス供給:
MFCを介して3つのガスチャネル

発電機:
6個（各40kHz）
（任意：13.56 MHzまたは2.45 GHz）

保持部品:
ロールワゴンによるローディング
（任意：特別なドラム）