Tetra 30プラズマシステムは、例えば、モジュールシステムをオフにします。

以下では、Tetra 30プラズマシステムと共に使用される最も一般的なオプション。

Tetra 30プラズマシステムは主に以下の分野に応用されている：

• 解析（REM，TEM）

• 考古学

• 自動車業界

• バイオテクノロジー

• エラストマー技術

• 電子技術

• 電子顕微鏡

• せいみつこうじ

• 研究と開発

• 半導体技術

• 小ロット生産

• プラスチック技術

• 医療技術

• マイクロシステム技術

• 太陽電池技術

• 紡績技術

きほんそうち

• ケースの仕様は、コンポーネント/オプションによって異なります

• チャンバ容積：具体的なバージョンによって、34-57リットルに分けられる

• 電力供給電源：230 Vまたは400 V/3位相

ガスげん

• マスフローコントローラ（MFC）

しんくうチャンバ

• 矩形ステンレス鋼部品、ヒンジ付きドア
  （幅約305 mm、高さ300 mmx奥行き370 mmまたは625 mm）

マウント

• 製品ホルダー（オプション：水冷タイプ）、石英ガラスボート、粉末ドラム、バルクドラム、アルミニウム板、ステンレス板、ホウ素シリコンガラス、石英ガラス

でんきょく

• 単層または多層

• ガスシャワーを有するRIE電極

せいぎょシステム

• PCCE制御システム（MicrosoftWindows CE)

• PC制御システム（MicrosoftWindows POS Ready 2009)

あつりょくそくてい

• Pirani

• Baratron（腐食性ガスバージョン用）

タイマ

• ディジタル型

はっせいき

すべてのジェネレータが0～100%の無段階調整タイプ

しんくうポンプ

• 規格もメーカーもそれぞれ異なる（活性炭フィルターの必要に応じて）

その他のオプション

スペアキット、圧力計、腐食性ガス設計構造、ガスボンベ、減圧器、加熱板、温度表示器、加熱型チャンバ、Faraday Box、プラズマ重合部品、テストインク、酸素発生器、低速換気装置、低速吸引装置、TEMラックフランジ、メンテナンス/サービス、現地言語の文書、現場設置、トレーニングを含む。必要に応じて提供できるその他のオプション。