でんきょうじどうせいしんきAVI-600M,蔡司ZEISS、ライカLeica、日立HITACHI、日本電子JEOLなどのブランドの大型電子顕微鏡防振、及び半導体装置、大型干渉計、電子天秤精密設備防振に広く用いられている。各種大型顕微鏡AEMSEMATMTEM、輪郭計能動制振台、電子太平能動制振台、レーザー設備能動制振台に適用する！

製品の説明：

電子顕微鏡能動制振台AVI-600 Mは小型モジュール化された能動防振システム-防振台-防振台であり、広い周波数範囲で電子顕微鏡と類似の大型研究機器に業界をリードする能動防振性能を提供することができる（0.5 Hzから始まる）。AVIシリーズプラットフォームは、測定に影響を与える破壊的な低周波振動ノイズを除去することで、顕微鏡からより多くの収益を得ることができ、プラットフォームはほとんどの機器（ほとんどのSEMを含む）に必要な昇降装置を設置する必要がなく、インストールプロセスを簡略化するために低調なモジュール化設計を採用している。

各種大型電子顕微鏡AEMSEMATMTEM、干渉計防振台、輪郭計防振台、電子太平防振台、超高速レーザーシステム防振台、時周波数システム防振台、大型半導体装置防振台、レーザー装置能動防振に適用する。

動作原理：

防振台-防振台は電気的制御を用いて、入力振動に逆方向の力を加えることで直ちに振動を除去する。センサは絶えず振動を監視し、この情報に基づいてアクチュエータは反対方向に力を発生し、最適な振動隔離状態を生成し続ける。能動式防振台は10 Hz以下の低周波範囲での防振を得意とする。

AVIシリーズ防振台は先進的な防振技術を採用しており、任意の研究に適している場合、水平方向と垂直方向を含む6つの自由度方向の振動を隔離することができる。AVIシリーズプラットフォームはコントローラ内の圧電加速度センサを利用して外部からの振動を感知し、外部の圧力情報を電気信号に変換して隔離モジュール内の圧電変換器に送信し、それから変換器は入力圧力と大きさが等しく、位相が逆の圧力信号を生成して入力振動を除去する。防振システムは、防振システムの機械的共振を除去するためにフィードバックループを利用する。実験室で振動に敏感な設備、例えば電子顕微鏡、光学部品などの精密機器に地面からの振動を隔離し、安定した試験環境を提供することができる。

電子顕微鏡能動制振台技術パラメータ：

• モデル：AVI-600M/LP
• システム構成：独立防振装置&制御装置
• アクティブ防振範囲：概ね1.0 Hz～200 Hz
• 受動防振範囲：概ね200 Hz以上
• ディスプレイ信号：マルチプレックス信号は、オシロスコープディスプレイが振動を含むか含まないかの振動レベルに使用される。
• LED sは、出力フェーズの過負荷状態を示します。
• ユニットサイズ（各）：288 x 720 x 112.5 Hmm
• コントローラサイズ：448 x 286 x 143 Hmm
• 防振ユニットの重量：26kg
• 負荷能力：1200 kg（同等/低重心）
• 入力電圧：90 – 125 VAC / 200 – 250 VAC, 50 – 60 Hz
• 消費電力：通常27 W
• 補正力：水平最大12 N、垂直最大24 N
• システムノイズ：0.1-200 Hzいずれの方向も50 nG/√Hz未満
• 静的柔軟性：垂直約1µm/N、水平約2µm/N
• 温度範囲：5℃～40℃
• 相対湿度：10～90%（5～30℃）・10～60%（30～40℃）
• 屋内/屋外使用：屋内用のみ

アップグレードオプション：

• AVI-600 M電子ミラー能動制振台-防振台-防振台はLFS低周波安定器と組み合わせて使用して低周波防振効果を強化することができ、防振周波数低周波段は0.5 Hzまで延びる。

でんきょうじどうせいしんき防振効果：

性能比較図：SEMの研究者は2種類の独特な条件下でイメージングを行った：防振システムを含まないとAVIシリーズ防振台を含む。AVIシリーズ防振台を用いてSEMを搭載すると、得られた画像は画像品質と全体測定の鮮明度が大幅に向上したことを示している。

電子顕微鏡減衰消磁防音一体ソリューションには、能動消磁システムと防音ボックスもある