データ信頼性

システムは自動遠隔サンプリング、自動濃縮吸収、自動品質制御、自動分析、データ自動アップロードの全プロセス自動化を実現した。

人工誤差の導入を避け、データは正確で信頼性がある。

感度が高い

大体積注入濃縮は、システム検出能力を大幅に高め、検出限界は亜ppt級に達し、システムの運行周期を短縮することができる。

監視面が広い

1セットのシステムで最大32ポイントのサンプル収集を配置することができます。

システムは真空ポンプによる遠隔サンプリングにより、300 m範囲のサンプルのオンラインモニタリングをカバーすることができる。

設計コンプライアンス

システム管路及びバルブ群は清浄なポリテトラフルオロエチレン材料設計を採用し、SEMI F 57中の関連析出不純物の制御要求を満たす。

吸収効率

オンライン二重吸収モジュール設計は、サンプル分析時間の節約に有利であり、データ出力がより速く、より効率的である！