規格型番

FT-3110A

FT-3110B

1.抵抗

10^-5～2×10^5Ω

10^-6～2×10^5Ω

2.ブロック抵抗

10^-5～2×10^5Ω/□

10^-6～2×10^5Ω/□

3.抵抗率

10^-6～2×10^6Ω-cm

10-7～2×106Ω-cm

4.テスト電流

0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA，

10mA，100mA

1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA

5.電流精度

±0.1%

6.抵抗精度

≤0.3%

7.PCソフトウェアの操作

PCソフトウェアインタフェース：抵抗、抵抗率、導電率、角抵抗、温度、単位換算、電流、電圧、プローブ形状、プローブピッチ、厚さ、2D、3Dスペクトル、圧力、

レポート生成など

8.圧力範囲：

プローブ圧力調整可能範囲：ソフトウェア制御、100-500g調整可能

9.探査ピン本

針間絶縁抵抗：≧1000MΩ；機械移動率：≦0.3%

まるあたまどうめっきめっきマテリアル、プローブ間隔1mm；2mm；3 mmオプション、その他の仕様はカスタマイズ可能

10.そくていウェハ

寸法すんぽうオプション

ウェハサイズ：2～12インチ（6インチ150mm，12インチ300mm）；

正方形片：大から156 mmX 156 mmまたは125 mmX 125 mm

11.分析モード

単一点、5点、9点、多点、直径走査、面走査などのモードの自動試験

12・加圧方式

測定重複性：重複性≦3%

13・安全防護

制限レンジと圧力保護を有する、誤操作と急停止防護、例外アラーム

14.テスト環境

しんくう

15・電源

入力:AC 220V±10%.50 Hz消費電力：<100W

16・購入項目

コンピュータとプリンタ