FT-3120シリーズ半自動四プローブテスタ

規格型番

FT-3120A

FT-3120B

FT-3120C

FT-3120D

1.抵抗

10^-3～2×10^4Ω

10^-5～2×10^5Ω

10^-6～2×10^5Ω

10-4～1×107Ω

2.ブロック抵抗

10^-3～2×10^4Ω/□

10^-5～2×10^5Ω/□

10^-6～2×10^5Ω/□

10-4～1×107Ω/□

3.抵抗率

10^-4～2×10^5Ω-cm

10^-6～2×10^6Ω-cm

10-7～2×106Ω-cm

10-5～2×108Ω-cm

4.テスト電流

0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA，

10mA，100mA

1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA

10mA ---200pA

5.電流精度

±0.1%

±2%

6.抵抗精度

≤0.3%

≤10%

7.PCソフトウェアの操作

PCソフトウェアインタフェース：抵抗、抵抗率、導電率、角抵抗、温度、単位換算、電流、電圧、プローブ形状、プローブピッチ、厚さ、データ管理分析：プロセスデータ、大、小値、平均値、分散、変異係数、サンプル番号、テスト点数統計レポート生成など

8.プローブ範囲：

プローブ圧力は100 ~ 550 g、サンプル接触に応じて手動で調整する必要がある

9.探査ピン本

針間絶縁抵抗：≧1000MΩ；機械移動率：≦0.3%

まるあたまどうめっきめっきマテリアル、プローブ間隔1mm；2mm；3 mmオプション、その他の仕様はカスタマイズ可能

10.そくていウェハ

寸法すんぽうオプション

ウェハサイズ：2～12インチ（6インチ150mm，12インチ300mm）；

正方形片：大から156 mmX 156 mmまたは125 mmX 125 mm

11.分析モード

自動または手動シングルポイントパターン＃パターン＃

12・加圧方式

測定重複性：重複性≦3%

13・安全防護

制限レンジと圧力保護を有する、誤操作と急停止防護、例外アラーム

14.テスト環境

実験室環境

15・電源

入力:AC 220V±10%.50 Hz消費電力：<100W

16・購入項目

コンピュータとプリンタ