FT-334ふつうよんプローブ抵抗率/かくていこうしけんき
シリコンウェハ抵抗率測定の国際基準(
ASTM F84)及び標準設計製造当該機器の設計適合
GB/T 1551-2009『シリコン単結晶抵抗率測定方法』、
GB/T 1551-1995『シリコン、ゲルマニウム単結晶抵抗率測定直流両プローブ法』、
GB/T 1552-1995「シリコン、ゲルマニウム単結晶抵抗率測定直流四プローブ法」及び米国参照
A.S.T.M標準、ネイティブ構成
232コンピュータインタフェース及び
USB2種類のインタフェース、ネイティブ結合採用
ファンデルベルクの測定原理幾何学的寸法、境界効果、プローブの不等距離、機械的移動などの外部要因による測定接合の改善
果の影響と誤差は、市場における他の一般的な4プローブ試験方法よりも改善され進歩している,特にブロック抵抗値の小さい製品の測定は、より正確である.
本計器本計器は4プローブ単電測定法を用いて生産企業、高等大学、科学研究部門に適しており、導体材料と半導体材料の品質を検査、分析する重要なツールである。本装置は各種測定装置を配置して異なる材料を試験することができる。液晶表示では、人工的に計算する必要はなく、温度補償機能があり、抵抗率単位が自動的に選択され、計器が自動的に測定し、試験結果に基づいて自動的にレンジを変換し、人工的に複数回と繰り返し設定する必要はない。高精度を採用ADチップ制御、定電流出力、構造合理、品質軽便、輸送安全、使用便利、オプション:ソフトウェアを搭載してコンピュータで操作し、データを保存して印刷し、自動的にレポートを生成することができます。本機器の採用4.3インチ大液晶画面表示、同時に液晶表示:抵抗、抵抗率、角抵抗、温度、単位換算、温度係数、電流、電圧、プローブ形状、プローブピッチ、厚さ.
電気伝導率、異なる試験治具を配置することは異なる材料の試験要求を満たすことができる。試験治具は製品及び試験項目の要求に応じて選択購入することができる広く使用されている:カバーフィルム;導電性高分子膜、高低温電熱膜;断熱、放射線防止導電窓膜導電(しゃへい)布、装飾フィルム、装飾紙;金属化ラベル、合金系箔フィルム;溶融、焼結、スパッタ、コーティング、コーティング層、抵抗式、容量式タッチスクリーンフィルム;
電極塗料、その他の半導体材料、薄膜材料の抵抗試験シリコンウェハ、ウェハ抵抗率及び拡散層、エピタキシャル層、ITO 導電箔膜、導電ゴムなどの材料ブロック抵抗 半導体材料/ウエハ、太陽電池、電子部品、導電性薄膜(ITO導電性膜ガラスなど)、金属膜、導電性塗料膜、蒸発アルミニウム膜、PCB銅箔膜、EMIコーティングなどの物質の薄層抵抗と抵抗率導電性塗料、導電性ペースト、導電性プラスチック、導電性ゴム、導電性フィルム、金属フィルム、帯電防止材料、EMI
保護材、導電性繊維、導電性セラミックスなど
パラメータデータ-31.ブロック抵抗範囲:102~3×10
Ω/□-42.抵抗率範囲:102~4×10
Ω-cm3.試験電流範囲:10μA、100µA,1mA,10mA,
100 mA
4.電流精度:±0.3%示度
5.抵抗精度:≤0.5%
6.表示示度:液晶表示:抵抗、抵抗率、角抵抗、温度、単位換算、温度係数、電流、電圧、プローブ形状、プローブピッチ、厚さ、電気伝導率7.試験方式
:いっぱんたんでんそくてい8.動作電源
:入力:AC 220 V±10%、50 Hz消費電力:<30W9.機械全体の不確実性誤差
:≦4%(標準サンプル結果)10.オプション機能:オプション2.1.pc3.ソフトウェア4.オプション
方形プローブオプション 直線形プローブオプションテストプラットフォーム11.試験プローブ:プローブ間隔の選択:1mm;2mm;3mm3つの規格;
プローブ材質の選択:炭化タングステン針;.
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