名称：単瓶特気箱（Gas Cabinet）規格：単工程ガスボンベ、全自動

モデル：WF-GC100

特気キャビネットサイズ：W 550幅×D 500深さ×H 1800高さ

■アウトパージ：PN 2，1/4”MVCRインタフェース

■真空引き：GN 2，1/4”MVCRインタフェース

■空気圧ダイヤフラムバルブ：CDA駆動、1/4”ジャケットコネクタ

■VENT排気管：1/2 MVCRコネクタ

■プロセスガス輸出：2個、1/4”MVCRインタフェース

■皿面仕様：1/4”皿面

■標準装備：防爆防腐キャビネット、防爆自己ロックドア、防爆ガラス観察窓、漏洩警報、遠隔切断、アンダ圧警報、主材SS 316 L

■キャビネット換気量：4「排気口、1200回/時間

■制御盤サイズ：W 550幅×D 230深さ×H 320高さ

■制御盤電源：220 VAC、50 HZ、200 W、漏電保護

■操作画面：7”カラータッチパネル

■オプション：プロセスガスボンベ重量モニタ、プロセスガス超圧警報、盤面加熱及び温度制御装置、警報信号携帯メールと電話通知

適用範囲：MOCVD、PECVD、エッチングマシンなどの付帯設備には、大学実験室、材料分析実験室、チップ半導体、光起電力太陽電池、生物医薬工学、マイクロ電子新材料などの業界に適している。