HVA真空ゲートバルブ、真空プラグバルブ21200シリーズの製品特徴：

HVA真空ゲートバルブ、真空プラグバルブ21200シリーズの製品特徴：

1.直線駆動により、溶接ベローズを使用してドライバを密封することができる.

2.独特なシリンダ設計により衝撃と振動を最小化した。

3.HVA真空ゲートバルブ21200シリーズの真空チャンバ内には機械的なロックがないため、半導体製造やその他の低振動が要求される敏感加工産業に特に適している.

4.移動するすべての継手にはハードシャフトがあり、微粒子の発生を効果的に低減し、駆動を容易にする。

5.HVAステンレス鋼弁体真空ゲート弁は真空弁業界最小の内部表面領域を提供した。

6.弁体とすべての内部部品は1100℃、1 x 10 E-6 Torrの真空炉で一体ろう付けが完了し、弁の最大完全性を確保した。

7.保守面では、真空バルブをシステム全体から取り外すことなくブラケット部分を取り外すことができる.

8.バルブ駆動手動、空気圧オプション。

9.標準又はカスタムフランジは異なる応用を満たす。

10.HVA標準周期真空バルブ21200シリーズは任意の位置に取り付けることができる.

11.電磁弁の制御及び手動オーバーコントロールを有する.