ハイデルベルクレーザ直写装置
ハイデルベルク社(Heidelberg Instruments略称HIMT)はドイツのハイデルベルク市に位置し、HIMTは1984年に設立され、主に大型及び小型の高精密レーザー直写設備を生産している。ハイデルベルクレーザー直写設備はマスク板(photo mask)だけでなく、各種基板(チップ、石英ガ
製品の詳細
DWL 200/400はハイデルベルク社がDWL 66に続いて開発したレーザー直写装置であり、ハイデルベルクレーザー直写装置DWL 200/400は光描画速度が速いだけでなく、その精度が高く、品質がより良く、同時に光描画加工面積が16「X 16」であり、半導体、マイクロイメージング技術及び光学分野においても広く使用されている。
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