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ジクロロシラン分析用ヘリウムイオンクロマトグラフィー
計器は高感度のヘリウムイオン化検出器を備え、華愛会社の中心切断技術を採用し、注入弁はすべてパージ保護ガス路を備えている、本体は多柱箱設計を採用し、注入圧力自動補正システムを搭載している
製品の詳細
- 製品の説明
ジクロロシランヘリウムイオンクロマトグラフィー計器は高感度のヘリウムイオン化検出器を備え、華愛会社の中心切断技術を採用し、注入弁はすべてパージ保護ガス路を備えている、全機は多柱箱設計を採用し、注入圧力自動補正システムを装備し、異なる底ガスのサンプルの注入量を保証する。製品は前後して上海市ハイテク成果転化A級プロジェクト、上海市重点新製品、上海市トーチ計画と2009科学機器製品などの称号を獲得した。
| プロジェクト名 | インデックス | ||
| 三塩化水素シリコン（SiHCl3）含有量（体積率）/l 0-6 ≤ | 10 | ||
| （モノクロロシラン＋塩化水素）含有量（SiH3Cl+HCl）含有量」、塩化水素（体積率）/l 0-6 ≤ | 50 | ||
| 窒素（N2）含有量（体積率）/l 0-6 ≤ | 1 | ||
| （酸素＋アルゴン）（O2+Ar）含有量（体積率）/l 0-6 ≤ | 1 | ||
| 一酸化炭素（CO）含有量（体積率）/l 0-6 ≤ | 1 | ||
| 水素（H2）含有量（体積率）/l 0-6 ≤ | 10 | ||
| 二酸化炭素（CO2）含有量（体積率）/l 0-6 ≤ | 1 | ||
| メタン（CH4）計（体積率）/l 0-6 ≤ | 1 | ||
| 金属元素及びその他の元素の含有量 | （ホウ素＋アルミニウム）（B＋Al）含有量／（181 g／kg）≦ | 0.1 | |
| （リン＋砒素）（P＋As）含有量/（µg/kg）≦ | 0.3 | ||
| ガリウム（Ga）含有量/（µg/kg）≦ | 0.1 | ||
| アンチモン（Sb）含有量/（µg/kg）≦ | 0.1 | ||
| インジウム（In）含有量/（µg/kg）≦ | 0.1 | ||
| カルシウム（Ca）含有量/（µg/kg）≦ | 1 | ||
| クロム（Cr）含有量/（µg/kg）≦ | 1 | ||
| 鉄（Fe）含有量/（µg/kg）≦ | 5 | ||
| カリウム（K）含有量/（µg/kg）≦ | 1 | ||
| ナトリウム（Na）含有量/（µg/kg）≦ | 0.2 | ||
| ニッケル（Ni）含有量/（µg/kg）≦ | 1 | ||
| モリブデン（Mo）含有量/（µg/kg）≦ | 0.1 | ||
| マンガン（Mn）含有量/（µg/kg）≦ | 0.2 | ||
| 銅（Cu）含有量/（µg/kg）≦ | 0.2 | ||
| カドミウム（Cd）含有量/（µg/kg）≦ | 0.5 | ||
| コバルト（Co）含有量/（µg/kg）≦ | 0.5 | ||
| 亜鉛（Zn）含有量/（µg/kg）≦ | 0.1 | ||
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