高低温プローブ台の特徴

●製品機能：高低温プローブ台のために小サイズサンプルは電気特性を測定し、高精度で制御可能な測定環境を提供する、

●使用範囲：正確な測定と分析を助けてウェハデバイスの性能を判断する。

●応用分野：材料/デバイスのIV/CV特性試験、LD/LED/PDの光強度/波長試験、無線周波特性デバイスの故障分析、チップ内部回路/電極/PAD試験などの技術解決方案を提供する、

●カスタムサービス：試料台と測定方式をカスタマイズする、

●温度自動制御：PIDは連続多点制御温度を自己調整する。

真空プローブ台の技術パラメータ：

●外形寸法：長さ650 mm*幅650 mm*高さ1300 mm、

●温度範囲：-196 ~ 400℃（周囲温度）、

●冷房加熱方式：液体窒素冷凍、抵抗加熱、

●サンプルテーブルサイズ：≤φ100mm；

●有効な高さ:40mm；

●真空度：機械ポンプ≦10 Pa、分子ポンプ≦5.0 e−3 Pa、

●気道：1-2番バス

●温度センサー：PT100；

●温度制御方式：PID線型調整、

●温度制御精度：±0.1℃；

●最大昇温速度：80℃/min（RTから100℃）、

●最大温度低下率：50℃/min（RTから-100℃）、

●XYZ軸ストローク：50mm*50mm*10mm；

●プローブ構造：外付けプローブアーム、真空ベローズ構造、

●移動精度：0.01mm；

●ケーブル：同軸線/無線周波数線、

●プローブタイプ：タングステンプローブ（タイプはオプション）、

●コネクタタイプ：BNC/ワニクリップ/配線端子、