適用基準：
GB/T 8980-1996「高純窒素」
GB/T 14599-93「高純酸素」
GB/T 4844.3-1995「高純度ヘリウム」
GB/T 4842-2006「高純アルゴン」
GB/T 7445-1995「純水素、高純水素、超純水素」
GB/T 17873-1999「純ネオン」
国家基準に規定された各種ガスの純度指標：
ガス種類項目指標
優等品一等品合格品
高純度窒素窒素ガス純度0-2（V/V）≧99.9999699.993999.999
酸素含有量、10-6（V/V）≦1.02.03.0
水素含有量、10-6（V/V）≦0.51.01.0
CO、CO 2、CH 4の総含有量、10-6（V/V）≦1.02.03.0
高純度アルゴンアルゴン純度、10-2（V/V） ≥99.999699.999399.999
窒素含有量、10-6（V/V）≦245
水素含有量、10-6（V/V）≦0.511
総炭素含有量（メタンベース）10-6（V/V）≦0.512
高純度ヘリウムヘリウムガスの純度、10-2（V/V） ≥99.999699.999399.999
水素含有量、10-6（V/V）≦0.10.51
酸素（アルゴン）含有量10-6（V/V）≦0.511
窒素含有量、10-6（V/V）≦112
一酸化炭素含有量、10-6（V/V）≦0.10.20.5
二酸化炭素含有量、10-6（V/V）≦0.20.20.5
メタン含有量、10-6（V/V）≦0.10.20.5
高純度水素純度、10-2（V/V） ≥99.999
酸素（アルゴン）含有量10-6（V/V）≦1
窒素含有量、10-6（V/V）≦5
一酸化炭素含有量、10-6（V/V）≦1
二酸化炭素含有量、10-6（V/V）≦1
メタン含有量、10-6（V/V）≦1
超純度水素水素純度、10-2（V/V） ≥99.9999
酸素（アルゴン）含有量10-6（V/V）≦0.2
窒素含有量、10-6（V/V）≦0.4
一酸化炭素含有量、10-6（V/V）≦0.1
二酸化炭素含有量、10-6（V/V）≦0.1
メタン含有量、10-6（V/V）≦0.2
高純度酸素純度、10-2（V/V） ≥99.99999.99899.995
アルゴン含有量、10-6（V/V）≦2510
窒素含有量、10-6（V/V）≦51020
二酸化炭素含有量、10-6（V/V）≦0.511
総炭素含有量（メタンベース）10-6（V/V）≦0.512

GB/T 5829-1995『クリプトンガス』
GB/T 5828-1995「キセノン」
HG/T 3633-1999「純メタン」
GB/T 10621-2006「食品添加物液体二酸化炭素」
GB/T 16942-1997「電子工業用ガス水素」
GB/T 16943-1997「電子工業用ガスヘリウム」
GB/T 16944-1997「電子工業用ガス窒素」
GB/T 16945-1997「電子工業用ガスアルゴン」
GB/T 14604-93「電子工業用ガス酸素」
GB/T 1460-93「電子工業用ガス酸化アルゴン窒素」
GB/T 14601-93「電子工業用ガス高純度アンモニア」
GB/T 14602-93「電子工業用ガス塩化水素」
GB/T 14603-93
GB/T 18994-2003「電子工業用ガス高純度塩素」
GB/T 14851-93「電子工業用ガスリン化水素」
GB/T 17874-1999「電子工業用ガス三塩化ホウ素」
GB/T 15909-1995「電子工業用ガスシラン」