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製品の詳細
こうそくよこげんすいき
主な用途:
ワークの硬度が高く、厚さが薄く、加工精度が高い製品に最適です。例えば:LEDサファイア基板、光学ガラスウエハ、石英ウエハ、シリコンウエハ、諸片、セラミックスウエハ、タングステン鋼ウエハなどの各種材料の急速な薄肉化。
動作原理:
1.本シリーズの横方向研削機は精密研削設備であり、真空主軸によってワークを吸着してダイヤモンド研削ホイールと反対方向に高速研削し、ダイヤモンド研削ホイールが前後に揺動する。この方法は研削抵抗が小さく、ワークが破損することがなく、しかも研削が均一で生産効率が高い。
特異点:
1.ワーク加工厚を破砕せずに0.02 mm厚に薄くすることができる。また、平行度と平面度は±0.002 mmの範囲内に制御することができる。
2.薄い効率が高く、LEDサファイア基板は毎分48 um薄くすることができる。シリコンウェハは毎分250 um薄くすることができる。
3.シリーズ研磨機はCNCプログラム制御システムを採用し、タッチパネル操作パネル。
技術パラメータ:
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型番
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FD・150LX
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FD・180LX
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FD-200LX型
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FD・230LX
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ダイヤモンド研削ホイール寸法
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φ150×H25
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φ180×H25
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φ200×H30
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φ230×H30
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最大ワークサイズ
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φ150ミリメートル
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φ180mm
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φ200mm
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φ230ミリメートル
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グラインダ回転数(調整可能)
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0---1000 rpm/分
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0---1000 rpm/分
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0---800 rpm/分
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0---800 rpm/分
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ワーク回転数(調整可能)
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0---2000 rpm/分
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0---2000 rpm/分
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0---1800 rpm/分
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0---1800 rpm/分
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グラインダモータパワー
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1.5 KW.380 V 3相
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1.5 KW.380 V 3相
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2.2 KW.380 V 3相
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2.2 KW.380 V 3相
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真空主軸モータの電力
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0.75 KW.380 V 3相
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0.75 KW.380 V 3相
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1.1 KW.380 V 3相
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1.1 KW.380 V 3相
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せいぎょせいど
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1um(φ100mm)
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1um(φ100mm)
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1um(φ100mm)
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1um(φ100mm)
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外形寸法
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1200×550×1550
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1200×550×1550
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1350×600×1600
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1350×600×1600
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重量:
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850キロ
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980キロ
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1100キロ
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1300キロ
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オンライン照会
