工業用プラズマ光酸素排気ガス浄化装置の高温プラズマ焼却技術は、高周波（30 KHz）高圧（10万ボルト）高出力電源の特定条件下での重合放電である。工業排ガスは反応器の中で常温から3千度の高温に急激に上昇し、高温、高電位の二重作用の下で、有機汚染成分（VOCs）は瞬間的に電離され、分解される。

高温プラズマ焼却処理を経て、工業排ガス中の有機物（VOCs）が分解されて炭素、二酸化炭素、水蒸気などの単体物質となる。

高温プラズマ焼却技術は高濃度、成分が複雑、可燃性、爆発性、固体、油状物を含む工業排ガスを処理することができる。

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