高低温真空プローブ台
製品の概要:
錦正茂高低温真空プローブ台真空環境下での高低温試験(4.2K~500K)、アップグレード可能な磁場負荷、低温放射線防止スクリーン設計、サンプル台採用高純度無酸素銅製作、温度均一性はより良く、温度センサーは良好な安定性と繰り返し性を持つものを採用するPT100あるいは定格されたシリコンダイオードを測温装置として、光ファイバスペクトル特性試験を支持し、高倍率金相顕微鏡に適合し、微調整可能な移動、デバイスの高周波特性(サポート頻度が最大67GHz)、プローブヒートシンク設計、LD/LED/PDの強度/波長試験、自動流量制御、材料/デバイスのIV/CV特性試験など。
錦正茂高低温真空プローブ台真空環境下での高低温試験(4.2K~500K)、荷重磁場のアップグレード、低温放射線防止スクリーンの設計、試料台の採用高純度無酸素銅製作、温度均一性はより良く、温度センサーは良好な安定性と繰り返し性を持つものを採用するPT100あるいは定格化されたシリコンダイオードを測温装置として、光ファイバスペクトル特性試験を支持し、高倍率金相顕微鏡に適合し、微調整可能な移動、デバイスの高周波特性(サポート頻度が最大67GHz)、プローブヒートシンク設計、LD/LED/PDの強度/波長試験、自動流量制御、材料/デバイスのIV/CV特性試験など。
適用範囲:
錦正茂高低温真空プローブ台高低温真空環境下のチップ試験、材料試験、ホール試験、電磁輸送特性など。
オプションの添付ファイル:
防振テーブルをつかむ
þただんあっしゅくれいとうき
þメカニカルポンプ/分子ポンプユニット/イオンポンプ
þむせんしゅうはそし
þ各タイプの周波数真空継手
þ各種DCプローブ、高周波プローブ、アクティブプローブ、ケーブルケーブルなど…
þ各種プローブ治具
þ Chuckうんどうそうち
þ電磁石システム/超伝導磁石システム
þ 1Mpaせいあつシステム
þ超高温アップグレードオプション
þ超高真空アップグレードオプション
技術指標:
モデル |
T81-50プローブ台 |
T80-50プローブ台 |
れいとうほうしき |
えきたいヘリウム/えきたいちっそれいとう |
クローズドサイクル冷凍機 |
キャビティマテリアル |
無磁性ステンレス鋼又はアルミニウム合金 |
|
しんくうど |
真空上等ガンダム10-8Pa |
|
真空チャンバ観察窓寸法 |
2inch(オプション) |
|
温度制御範囲 |
4.2K-450K |
5K-450K |
温度制御解像度 |
0.001K温度制御装置関連 |
|
おんどあんていせい |
0.1K温度制御装置関連 |
|
かねつじかん |
40min |
150min内部、視冷凍機の電力定 |
温度センサ |
シリコンダイオード、PT100(3個、試料台とプローブアームと放射線防止スクリーンに1つずつ) |
|
かねつでんげん |
LVDCていあつちょくりゅう |
|
サンプルテーブル材質 |
きんめっき無酸素銅 |
|
サンプルテーブルサイズ |
ちょつけい20-50mm、オプション100mm |
|
サンプルテーブル平坦度 |
≤7μm |
|
サンプルテーブル固定方式 |
固定サンプルテーブル(アップグレード可変位テーブル移動) |
|
サンプルテーブル振動レベル |
≤50ナノメートル |
≤1μm(3段ダンピング) |
プローブアーム数 |
2個、4個、6個、8オプション |
|
プローブアームの機械的精度 |
±12.5mm(アップグレード可能±25mm),せいど1μm(オプション) |
|
プローブの種類 |
タングステン、ベリリウム銅、マイクロ波プローブ(オプション:ガンダム67GHzのGSGプローブ) |
|
プローブ調整 |
真空ベローズ外部調整、手動制御 |
|
拡大倍率 |
16~100X/20~4000X |
|
顕微鏡ストローク |
X、Y平面2*2inch、精度1μm,Z軸ストローク≧50.8mm |
|
電力需要 |
220V 50-60Hz |