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LGHヘッド高精度レーザホログラフィー格子式マイクロメータ(0.005 um分解能)
LGHヘッド高精度レーザホログラフィー格子式マイクロメータ(0.005 um分解能)
製品の詳細

三豊LGHヘッド高精度レーザーホログラフィー格子式マイクロメータ(0.005 um分解能)LGH-0510-B-EH/542-720/542-721

製品特徴:


1.新しい光電式反射型線形エンコーダを用いた高精度測定機を組み立てた。コンパクトボディにマイクロヘッドを組み合わせ、従来のレーザー測長機などの機器装備と組み合わせることでコストを大幅に削減するとともに、装置の小型化にも大きく貢献する。高精度部品の測定や高精度位置決め、制御装置の測長センサーとしてだけでなく、測定機設備の基準ゲージとしても適している。

2. 低測定力仕様製品もあります:用途に応じて低測定力仕様を選択でき、変形しやすいワークや高性能フィルムなどを測定することができます。

3. LGHシリーズは専用カウンタとの組み合わせ仕様。

4.新開発の超高精度透過型リニアエンコーダを組み立て、0.005μm(5 nm)の高分解能を実現する

5.測定範囲10 mmの広い範囲で指示精度0.1μmを実現した。標準ゲージ用の補正・代入、測定機用の基準器

技術パラメータ:

パターン

LGH-0510-B-EH (標準)

LGH-0510C-B-EH (低測定力タイプ)*2

商品番号

542-720

542-721

測定範囲

10mm

ぶんかいのう

0.005m ( 0.01m, 0.05m, 0.1mカウンタで切り替え可能)

指示精度(20°C)

0.1m

繰返し精度(2σ)0.02

0.02um

0.02um

量子化誤差

0.05um

0.05um


レバーを下に向ける

約0.65 N以下

約0.1 N以下


ちからを測る

水平

約0.55 N以下

使用不可



ロッドアップ

約0.45 N以下

使用不可


位置検出方式

超高精度透過型リニアエンコーダ

超高精度透過型リニアエンコーダ

きおくおんどはんい

-10°C~60°C/20~80%(結露なし) -10°C~60°C/20~80%(結露なし)

応答速度

250mm/s

250mm/s

じゅうりょう

約370 g

約370 g

塵/水防護レベル*1

IP 54保護レベルに到達

ゲージヘッド

硬質合金SR 5(M 2.5(P=0.45)×5)標準ヘッドNo.120058

クランプスリーブ

直径15 mm

軸受タイプ

高精度リニアボールベアリング

出力ケーブル長

約2 m

インタフェース

RS-232 C USB(SENSORPAK専用)Digimatic出力(プリンタ:DP-1 VALOGGERのみ)I/Oケーブル

運転温度(湿度)範囲

15~25 C(基準温度度20°C)/30~60%RH(結露なし)

専用カウンタ仕様:

量子化誤差±1

分解能±99.999995 mm

機能ゼロ調整、プリセット、方向変換、公差判定(3段/5段)、RS-RINK

インタフェースRS-232 C/デジタル/USB(SENSORPAKのみ)

電源にACアダプタが付属しており、DC + 12 ~ 24V, MAX700mA

消費電力8.4 W(MAX 700 mA)

各装置の信頼できる電力供給は1 A以上であること

外形寸法144(W)×157(D)×75(H)

重量約900 g(ACアダプタを除く)

標準部品

スパナ(ヘッド交換用)、ラバーフットレスト、ブラケット、ワッシャ(カウンタ用)、ACアダプタ、

AC電源ケーブル、DCプラグ、ユーザーマニュアル、検証証明書


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