レーザスペクトルinsituアナライザ（LIBSOPA−200）はレーザ誘起破壊スペクトル分析技術（LIBS）とinsitu統計分布分析技術（OPA）が完全に結合した新しい分析機器である。レーザー誘起破壊スペクトルのその場統計分布分析技術（LIBSOPA）は高エネルギーレーザーによってサンプル表面に焦点を当て、サンプルが破壊されて高温プラズマを形成し、プラズマスペクトル信号を検出することによって、サンプルの成分及び元素分布情報を得る技術である。その分析原理は：試料表面は高エネルギーレーザーによって破壊されてプラズマを形成し、プラズマ光線はフィルタリングされ、分光後に多チャンネルの光電子増倍管検出システムによって検出される。スペクトル特徴スペクトル線の波長に基づいて破壊された部位の元素の種類を得る、スケーリング後の対応するスペクトル線の強度は、被破壊部位元素の濃度を表す。精密三次元移動プラットフォームを用いてサンプル励起表面における良好な位置決めと記録を行い、任意の点走査、一次元線形走査、一次元深さ分析と二次元面走査分析を実現し、それに基づいて材料の元位置に対応する各元素の元の含有量と状態情報を得て、統計解析の方法で材料の偏析度、弛み度などの情報を定量的に特徴づけることができる。この方法はレーザースペクトルの非接触分析、マイクロゾーン分析、深さ分析の利点があるだけでなく、その場統計分布分析技術のその場性と統計性を備えている。LIBSOPA-200の開発は材料成分分析、欠陥分析、コーティング層などのサンプルの分析応用に新しい技術手段と品質基準を提供した。