技術パラメータ
製品型番 |
Accura III-2010A |
Accura III-3020A |
Accura III-4030A |
Accura III-5030A |
外形寸法(W*D*H) |
570*370*790mm |
700*500*900mm |
860*650*1120mm |
860*700*1120mm |
X*Y*Zストローク |
200*100*100mm |
300*200*150mm |
400*300*150mm |
500*300*150mm |
メササイズ |
350*270mm |
500*350mm |
600*450mm |
650*450mm |
テーブル重量 |
100kg |
180kg |
350kg |
360Kg |
メサ荷重 |
20kg |
25kg |
25kg |
25Kg |
さいげんせい |
< 0.005mm |
< 0.005mm |
< 0.005mm |
< 0.005mm |
ラスタゲージ解析力 |
0.0005mm |
0.0005mm |
0.0005mm |
0.0005mm |
ひょうかせいど |
3+L/200μm |
3+L/200μm |
3+L/200μm |
3+L/200μm |
拡大倍率 |
20x-120x |
20x-120x |
20x-120x |
20x-120x |
CCD |
カラー1/3”高解析520 TVライン |
カラー1/3”高解析520 TVライン |
カラー1/3”高解析520 TVライン |
カラー1/3”高解析520 TVライン |
くどうモード |
CNC(全自動) |
CNC(全自動) |
CNC(全自動) |
CNC(全自動) |