測定要件
1本のラインを走査し、基板を基準面としてコーティングとの段差すなわちコーティングの厚さを測定する

主な特長の概要
1.非接触式測定、一体化設計
2.適用範囲が広く、取外しが便利
3.±0.5〜±1μm繰り返し精度保証
4.一線式走査、速度は50 mm/sに達することができ、検査速度を大幅に高める
5.オフライン式検査、厚さデータ記憶、管理統計/分析基礎データの形成
6.豊富な警報機能、OK、NG提示、監視測定全過程、管理制御品質、効率向上

測定結果
コーティング厚は約18μm±1μm

現段階での測定装置の問題点を解決する

1.測定材料に一定の要求がある
2.接触式測定、測定材料に損傷がある
3.測定範囲が小さく、位置が不確定で、測定が困難である
4.測定速度が遅く、精度が低く、測定誤差が大きい

5.構造が複雑でコストが高い