MFS熱式流量センサ

製品特徴：

高精度液体質量流量センサ/熱式流量センサ（Microfluidic Flow Sensor、MFS）は超低流量のモニタリングに用いられ、M 8電気接続を搭載した後、Elveflowソフトウェアを通じて直接制御することができる。また、この流量センサーには5つの異なるレンジがあり、高度な化学互換性があるという特徴があります。

1. 較正流量は0.07μL/minから5000μL/minまで

2. センサ応答時間：40 ms

3. 解像度が1.5 pL/sと低い

適用範囲：

1. OB 1流量制御器と合わせて、直接流量制御を実現する。

2. 双方向流量測定（順方向&逆方向）

3. 高い化学的および生物的互換性

動作原理：

技術仕様：