本製品はマイクロ光電気機械に基づくマイクロ機械レーザビーム偏向器（MEMS laser deflection mirror）であり、マイクロ光電気機械レーザビームスキャナであり、MEMSレーザビーム走査ミラーでもある。データ収集、投影、その他の様々な応用場面に広く応用されている。マイクロ機械ビーム走査ミラーは、小型、大走査角度、高走査周波数の製品を提供することができ、様々な小体積の製品に適している。本製品は単一のマイクロメカニカルレーザビーム走査偏向ミラーであり、また本シリーズ製品は1 Dマイクロメカニカルレーザビーム偏向器（1次元マイクロメカニカルレーザビーム走査偏向器）及び2 Dマイクロメカニカルレーザビーム偏向器（2次元マイクロメカニカルレーザ走査偏向器）を含む。

Micro mechanical scanning mirrors offer a high degree of miniaturization, high scan frequencies, high mechanical robustness and the potential for low cost manufacturing at high volumes. MEMS scanners are very promising especially for small and portable systems.

本マイクロメカニカルレーザビーム偏向器（マイクロメカニカルレーザビーム走査偏向鏡）の指標は以下の通りである：
MEMS Scanner
Scanner type Electrostatic resonant 1D
Scanning frequency 500 Hz … 50 kHz (≥ 200 Hz on request)
Optical scan angle (FOV) Depending on scanner, optical scan angle up to 80°
(mechanical scan angle ±20°) supported
Active mirror diameter 1 … 4 mm
Active mirror surface Aluminum, reflectivity 88 ... 90% in visible
wavelength range (400 … 700 nm)

Scan Head
Substrates with available technologies Ceramic (standard), glass or PCB on request
Sealing Dust-proof
Optical interface Dome with anti-reflective coating;
option: plane window on request
Mirror position control Optical, integrated in scan head, signal processing on driving electronics board
Electrical interface Flexible flat cable connected to sensor system
Module footprint 16 × 23 mm²
Working temperature 0 … 45 °C (extended temperature range on request)

Driving Electronics Board
Dimensions 77 × 46 mm²
Supply voltage 5 V DC
Internally generated driving
voltage for scanner 15 V … 200 V, max. 3 mA
Operating modes of thescanner control amplitude-controlled (above 8° scanning angle) or voltage-controlled