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マイクロミラーアレイ
このシリーズの製品はマイクロミラーアレイであり、マイクロ光機械電気ビーム偏向ミラーを用いて構成された鏡面整列である。適用波長は深紫外から近赤外（DUV to NIR、193 nm ~ 1500 nm）まで可能である。ミラーは256×256個のマイクロミラーで構成することができ、各ミラーは16 um*
製品の詳細
このシリーズの製品はマイクロミラーアレイであり、マイクロ光機械電気ビーム偏向ミラーを用いて構成された鏡面整列である。適用波長は深紫外から近赤外（DUV to NIR、193 nm ~ 1500 nm）まで可能である。ミラーは256×256個のマイクロミラーで構成することができ、各ミラーは16 um*16 umである。スキャン周波数は1 KHzに達することができます。パターンの生成、プログラマブルマスク板などとして使用できます。
Example of micro mirror array for extended spectral range
256 x 256 micro mirrors
16 μm x 16 μm mirror pitch
Frame rate 1 kHz
Analogue mirror tilting
Illumination wavelengths : 193 … 1500 nm
Applications
Pattern projection (real time grey levels)
Programmable masks
Structured / programmable illumination
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