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単結晶シリコン圧力変換器
3051単結晶シリコン圧力トランスミッタは、液体、ガスまたは蒸気の液面、密度、圧力を測定し、それを4-20 mAHART電流信号出力に変換するために使用され、HART 375またはBST Modemと通信し、パラメータ設定、プロセス制御を行うこともできます。従来の圧力トランスミッタとの違いは、センサ
製品の詳細
3051単結晶シリコン圧力トランスミッタ自己開発開発したHART通信プロトコル付き知能圧力トランスミッタは、次世代高性能知能差圧、圧力トランスミッタである。それは現在、国際的に先進的なマイクロメカニカル単結晶シリコンセンサー技術を採用し、単結晶シリコン材料の優れた安定性と繰り返し性の特徴を利用し、マイクロメカニカル加工技術とレーザー溶接パッケージ技術を通じて、信頼性と安定性は極めて高く、静圧への一方向過負荷の影響は極めて小さい。HARTデジタル通信技術はインテリジェント化とデジタル通信機能を追加し、工業現場測定チームの計器の高信頼性、高安定性とインテリジェント化の要求をさらに満たした。センサモジュールは全溶接技術を採用し、内部には一体化された過負荷膜片、圧力センサ、温度センサがある。温度センサは温度補償の基準値として用いられる。圧力センサの正圧側はセンサ膜カートリッジの高圧チャンバに接続され、センサの負圧側はセンサ膜カートリッジの低圧チャンバに接続され、圧力はダイアフラムと充填液を分離し、センサ内のシリコンチップに伝達され、圧力センサのチップの抵抗値を変化させ、検出システムから電圧変化を出力する。この出力電圧は圧力変化に比例し、適応ユニットと増幅器から標準化信号出力に変換される。
圧力抵抗式圧力センサは単結晶シリコンの圧力抵抗効果を利用して構成されている。単結晶シリコンウェハを弾性素子とし、単結晶シリコンウェハ上に集積回路のプロセスを利用して、単結晶シリコンの特定の方向に等価抵抗のセットを拡散し、抵抗をブリッジに接続し、単結晶シリコンウェハをセンサキャビティ内に置く。
単結晶シリコン圧力変換器圧力が変化すると、単結晶シリコンは歪みを生じ、上に直接拡散した歪み抵抗に測定圧力に比例した変化を生じさせ、ブリッジ回路から対応する電圧出力信号を得る。
測定範囲：0-1kPa-10MPa
出力信号：4-20 mA、4-20 mA+HART
参照精度：±0.2%URL
安定性：±0.2%URL/年
ダイヤフラム:SS316L，ハーストメタルC
メディア温度：-40~120℃
保護レベル：IP67
プロセス接続：M 20*1.5（M）、G 1/2（M）、G 1/4（M）、1/2-14 NPT（M）など
測定媒体：液体、気体、蒸気資格認定：CE、アンチノック
圧力抵抗式圧力センサは単結晶シリコンの圧力抵抗効果を利用して構成されている。単結晶シリコンウェハを弾性素子とし、単結晶シリコンウェハ上に集積回路のプロセスを利用して、単結晶シリコンの特定の方向に等価抵抗のセットを拡散し、抵抗をブリッジに接続し、単結晶シリコンウェハをセンサキャビティ内に置く。
単結晶シリコン圧力変換器圧力が変化すると、単結晶シリコンは歪みを生じ、上に直接拡散した歪み抵抗に測定圧力に比例した変化を生じさせ、ブリッジ回路から対応する電圧出力信号を得る。
測定範囲：0-1kPa-10MPa
出力信号：4-20 mA、4-20 mA+HART
参照精度：±0.2%URL
安定性：±0.2%URL/年
ダイヤフラム:SS316L，ハーストメタルC
メディア温度：-40~120℃
保護レベル：IP67
プロセス接続：M 20*1.5（M）、G 1/2（M）、G 1/4（M）、1/2-14 NPT（M）など
測定媒体：液体、気体、蒸気資格認定：CE、アンチノック
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