LIKgoはいNUMERIKJENA新しく、特別に設計された直線格子定規が発売され、そのコンパクトなサイズは、お客様のニーズによりよく対応することができます。

• 超コンパクトで軽量な読み取りヘッド

• 20umグリッド、測定ステップ78.125nm

• 新しい3ウィンドウスキャン技術により、信号品質が向上

• 位相及びオフセット誤差なし

• より低いサブディビジョンエラー

• 超低消費電力と熱蓄積

• 読み取りヘッドの内部細分化TTL信号、追加の電子デバイスは必要ありません

• 据付後の電子調整機能により、静的据付誤差を低減

• 改良されたADJUSTMENT TOOLせつぞく