ニコン自動画像測定器
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資料ニコン自動えいぞうそくていきVMZ-S3020 :そくていストローク:300 mm(X)x 200 mm(Y)x 200 mm(Z)
応用分野:機械、電気、電子、自動車、医療機器などの各種製品の小型部品
Type 1 ~ 3:コネクタ、半導体パッケージ、小型PCB、小型プレス板金、リードフレーム
Type 4/TZ:高密度PCB、リードフレーム、半導体パッケージ、MEMS、プローブカード等
TypeA:プラスチックモールド、板金、ゴム部品、機械部品、インプラント、腕時計部品など
タイプ1、2、3標準倍率ズームヘッド
Type10.5X~7.5X Type21X~15X Type32X~30X
タイプ1、2、および3は、長い動作距離、広い視野(FOV)、および0.35までの開口数を有するニコン15 Xズーム光学系を使用している。すべての標準ズームヘッドにはLEDの落下、透過、内部/外部リング照明器が装備されており、上部照明光、下部照明光、3種類の異なるベベル照明光を提供し、ぼやけたエッジを明確に表現することができます。
タイプ4とTZ-高倍率ズームヘッド
Type4 4X~60X TypeTZ1X~X7.5/16X~120X
タイプ4とTZはニコン15 Xと120 Xズーム光学系を使用し、より高い倍率精度とより高い数値穴モディ(0.46)を持っている。タイプ4にはLEDの落下、透過、環状照明器があり、上部照明光、下部照明光、50度傾斜角照明光を提供する。TZには、主対物レンズ(16 ~ 120 x)に適した落射、透過及び暗場照明器、及び補助対物レンズ(1 ~ 7.5 X)に適したLED落射及び暗場照明器が備えられている。
タイプA-広視野ズームヘッド
TypeA0.35X~3.5X
タイプはニコン10 Xズーム光学系を使用し、低い部率精度範囲内の*広い視野、*長い動作距離と**の数値孔(0.11)を持ち、しかもLEDの落下、透過、リング照明器を備え、上部と斜角照明光を提供する。
8段LED内外リング照明器
Type1~3
タイプ1、2、3には8段のLED内外リング型照明器が搭載されており、**照明条件を提供し、ぼやけたエッジをはっきり見せることができる。インバース37度、55度、75度の3つのベベルの1つを8つのライティングセグメントの任意の方向から選択できます。また、任意のライティングセグメントを組み合わせて使用したり、任意の光強度を使用したりすることもできます。
不確実性の改善
ニコンの新しいリニアエンコーダModuRayには非接触読取ヘッドが搭載されており、確定度の向上に役立ちます。
仕様
モデル |
VMZ-S3020 |
MXYZストローク |
300X200X200 |
*小さな読み取り単位 |
0.1ミクロン |
被測定物**重量 |
20kg |
測定精度EUX、MPE EUY、MPE |
1.2+4L/1000um |
EUXY、MPE |
2+4L/1000um |
Z軸測定精度(レーザーオートフォーカス) |
1.2+5L/1000um |
カメラ |
モノクロ1/3インチCCD、カラー1/3インチCCD(オプション)※ |
対物レンズの動作距離 |
|
タイプ1、2、3 |
37度斜角で50 mm、55度斜角で36 mm、78度斜角で10 mm |
タイプ4 |
30mm |
タイプTZ |
主対物レンズ使用時は11 mm、左側対物レンズ使用時は32 mm |
タイプA |
レーザAF未使用時は73.5 mm、レーザAF使用時は63 mm |
倍率と視野 |
|
タイプ1 |
0.5~7.5X /9.33X7~0.622X0.467mm |
タイプ2 |
1~15X /4.67X3.5~0.311X0.233mm |
タイプ3 |
2~30X /2.33X1.75~0.155X0.117mm |
タイプ4 |
4~60X /1.165X0.875~0.07~0.068 |
タイプTZ |
1~120X /4.67X3.5~0.039X0.029mm |
タイプA |
0.35~3.5X /13.3X10~1.33X1mm |
オートフォーカス |
タイプ1、2、3、4、TZはTTLレーザーAFと画像AFを搭載 |
しょうめいき |
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タイプ1、2、3 |
LED落下と透過照明器、8段LED内外リング型照明器(内部リング照明器は37度の斜角を呈し、外部リング照明器は55度と78度の斜角を呈している) |
タイプA |
LED落下と透過照明器、18度傾斜角を呈する8段LEDリング照明器 |
電源装置 |
AC 100-240 V±10%50または60 HZ |
しようでんりゅう |
5A-2.5A |
ホストサイズとワークベンチ |
700 X 730 X 1795 mm/約245 kg |
コントローラサイズ |
190 X 450 X 440 mm/約15 KG |
敷地(ワークベンチ上のPCを含む) |
2100X1100mm |