オリンパス工具接着剤OLS 5000

LEXT OLS 5000 3 D測定レーザー顕微鏡に搭載された2つの光学系（カラーイメージング光学系とレーザー共焦点光学系）は、カラー情報、高さ情報、高解像度画像を取得できるようにしている。

[カラー情報の取得]

カラーイメージング光学系は、白色光LED光源とCMOSカメラを用いてカラー情報を取得する。

［3 D高さ情報と高解像度共焦点画像の取得］

レーザ共焦点光学系は405ナノレーザダイオード光源と高感度光電子増倍管を用いて共焦点画像を得た。浅い焦点深度は、サンプルの表面不規則性の測定に使用できるようにする。

405ナノレーザ光源

光学顕微鏡の横方向分解能は波長が小さくなるにつれて向上する。短波長レーザを用いたレーザ顕微鏡は可視光（ピーク550 nm）を用いた従来の顕微鏡に比べて
より優れた横方向解像度を持つ。OLS 5000顕微鏡は405ナノメートルの短波長レーザダイオードを用いて優れた横方向分解能を得た。

レーザ共焦点光学系

レーザ共焦点光学系は円形ピンホールを通して集光された光のみを受信し、試料から反射し散乱されたすべての光を収集するものではない。これにより、ぼやけを解消し、手に入れることができるようになります
通常の顕微鏡よりもコントラストの高い画像。

X-Yスキャナ

オリンパスツールゲルOLS 5000顕微鏡にはオリンパス光学スキャナが搭載されている。電磁誘導MEMS共振スキャナを用いたX軸と採用

Galvano走査振動子のY軸を結合することにより、X-Yスキャナを対物レンズの瞳鏡共役に相対する位置に位置させることができるため、より低い走査軌跡を有する失

真と小光学収差の卓越したX−Y走査。

こうどそくていのげんり

高さを測定する際、顕微鏡は焦点位置を自動的に移動させて複数の共焦点画像を取得する。

非連続焦点位置（Z）と検出光強度（I）から各画素の光強度変化曲線（I−Z曲線）を推定し、そのピーク位置とピーク強度を得ることができる。

すべての画素のピーク位置がサンプル表面の不規則性に対応するため、サンプル表面の3 D形状情報を得ることができる。これと同様に、ピーク強度データにより

を使用して、サンプル表面のすべての位置焦点に対する画像（拡張画像）を取得します。