オゾン電源高周波高圧電力を供給してオゾン発生器を駆動する電源装置は、オゾン発生システムの核心部品の一つでもある。

常温常常圧では、低濃度のオゾンは無色ガスであり、濃度が15%に達すると水色を呈する。オゾンは水に可溶であり、常温常圧下でのオゾンの水中での溶解度は酸素より約13倍、空気より25倍高い。しかし、オゾン水溶液の安定性は水中に含まれる不純物の影響を大きく受け、特に金属イオンが存在する場合、オゾンは迅速に酸素に分解でき、純水中での分解が遅い。オゾンの密度は2.14 g/L（0°C、0.1 MP）、沸点は-111°C、融点は-192°Cである。オゾン分子構造は不安定で、空気中より水中で自己分解しやすい。オゾンの主な物性を表1−1に、オゾンの異なる温度での水中溶解度を表1−2に示す。オゾンは水中での溶解度は酸素より10倍大きいが、実際にはヘンリーの法則に従い、その溶解度は系中の分圧と総圧に比例するため、溶解度は非常に小さい。オゾンは空気中の含有量が極めて低いため、分圧も極めて低く、それは水と空気の界面から水中オゾンを逃がさせ、水中オゾン濃度を常に低下させている。

オゾン電源

オゾンは強い酸化性を持ち、金と白金を除いて、オゾン化空気はほとんどすべての金属に腐食作用がある。アルミニウム、亜鉛、鉛はオゾンと接触すると強く酸化されるが、クロム含有鉄合金はオゾン腐食をほとんど受けない。この点に基づいて、製造には通常25%Crを含むクロム鉄合金（ステンレス鋼）を用いてオゾン発生装置及び注入装置におけるオゾンと直接接触する部品を製造する。

オゾンは非金属材料に対しても強い腐食作用があり、他の場所ではかなり安定したポリ塩化ビニルプラスチックフィルターなどを使用しても、オゾン注入設備で使用して間もなく緩み、ひび割れ、穿孔が見られる。オゾン発生設備や計量設備では、通常のゴムをシール材として使用することはできず、耐食性の高いシリコンゴムや耐酸ゴムなどを採用しなければならない。