• このPELCO^®ピット計は南湾科学技術D 500 iピット計の改良版であり、精密な電気機械金相研磨装置である。凹部パラメータを絶えず監視し制御し、予め設定されたサンプル厚さに達したときに正確に研磨を終了することができます。この電気機械一体化技術の完璧さはピットプロセスの自動化を実現し、ピットを薄くするプロセスを繰り返し可能で信頼性のあるものにした。

  PELCOピット計の精度は±1μmであり、ピット面積が大きく、機械的損傷が小さい。シリコン、ガリウム砒素化合物、ゲルマニウム、サファイア、酸化物、炭化物、ホウ化物、シリサイド、ガラス、多相材料、III−8548半導体、アルミニウム合金、セラミックス、炭素、炭素複合体など、様々な異なる材料をピット縮小することができる。

  Zオフセット量	精度：	1 micron
  	範囲：	2000 microns
  Z終了精度	ツール1i / 3i：	<±1micron
  	ツール2i / 4i：	<±2microns
  こうぐあつりょく	範囲：	1 - 200grams
  		1 gramsステップ
  つりあい	感度：	1 grams
  	範囲：	50 grams
  ツール速度	100 - 600 RPM
  サンプル圧盤回転数	10RPM
  こうぐくどうじく	0.5ミクロンTIR
  	ツール1i / 3i：	<±1micronTIR
  	ツール2i / 4i：	<±2micronsTIR
  パッド表面	<0.5micronTIR
  外形寸法	長さ:	68.6cm
  	幅:	35.6cm
  	高さ:	33cm
  	重量：	32kg
  電源装置	汎用AC電源：85~264 VAC，47~63 Hz

  製品番号	説明
  84000	PELCO®TEMせいみつピットけい
  83050	PELCO®ビデオ整列ツール
  83031	使用＃シヨウ＃TEMの3mmサンプルの標準ツールセット
  83032	アジャスタブルプラテン群
  83001	サファイアしりょうだい