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製品の詳細
小型、多段式プラズマ洗浄機
用途
●各種材料の接着性向上、表面改質処理
●アッシング、エッチング処理
●プラスチック包装前処理
●プリント基板めっき前処理
●LED関連部品処理
●電子部品洗浄
●レジストのはく離または表面残留物の除去
●光学、金属、機械部品等の精密部品の洗浄
・フッ素化樹脂を含む樹脂系製品の表面改質
●FCC対応
特徴
●600 Wの小型高出力
●電極は1・2・3段選択可能（購入時指定）
●縦型処理可能な試料収納ボックス
●RIE/DPモード選択可能（購入時指定）
●データレコーダ（オプション）
●適応点記憶機能（オプション）
仕様
用途
●各種材料の接着性向上、表面改質処理
●アッシング、エッチング処理
●プラスチック包装前処理
●プリント基板めっき前処理
●LED関連部品処理
●電子部品洗浄
●レジストのはく離または表面残留物の除去
●光学、金属、機械部品等の精密部品の洗浄
・フッ素化樹脂を含む樹脂系製品の表面改質
●FCC対応
特徴
●600 Wの小型高出力
●電極は1・2・3段選択可能（購入時指定）
●縦型処理可能な試料収納ボックス
●RIE/DPモード選択可能（購入時指定）
●データレコーダ（オプション）
●適応点記憶機能（オプション）
仕様
| モデル | PDC610 |
| プラズマモード | RIE/DP（固定モード） |
| でんきょくこうぞう | 3段独立平行平板（固定） |
| 高周波出力 | Max600W |
| しゅうはすう | 13.56MHz |
| 制御・表示方式 | PLC・タッチスクリーン |
| 反応チャンバ寸法 | W350×D270×H300mm |
| 反応チャンバマテリアル | A5052 |
| はんのうガス | 2システム（Ar、O 2） |
| じゅうてんガス | N 2又は乾燥空気 |
| しんくうポンプ | オイルポンプ（約345 L/分）・標準 |
| 外形寸法 | W600×D722×H700mm |
| 外装マテリアル | ステンレス鋼 |
| 電源装置 | 3相AC 200 50/60 Hz 15 A |
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