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製品の詳細
サンプル伝送システムはモジュール式であり、組み合わせが容易である
用途
●各種材料の接着性向上、表面改質処理
●各種基板を洗浄する。
●電子部品、材料表面改質。
・有機物及び自然酸化膜の除去。
特徴
●小型で省スペース。
●小型キャビティを選択し、反応効率が高い。
●生産ラインに組み込んで使用しやすい。
・操作パネルによりプラズマモードを自由に切り替えることができる。
●冷却反応テーブルを備えている。
ないぶみぞ
技術仕様
用途
●各種材料の接着性向上、表面改質処理
●各種基板を洗浄する。
●電子部品、材料表面改質。
・有機物及び自然酸化膜の除去。
特徴
●小型で省スペース。
●小型キャビティを選択し、反応効率が高い。
●生産ラインに組み込んで使用しやすい。
・操作パネルによりプラズマモードを自由に切り替えることができる。
●冷却反応テーブルを備えている。
ないぶみぞ
技術仕様
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モデル |
YSP600U |
YSP2KU |
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パターン＃パターン＃ |
RIE（DPモードオプション） |
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高周波出力 |
600W |
2000W |
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反応テーブルサイズ |
W300×D300mm |
W600×D600mm |
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はんのうガス |
2吸気システム（酸素、アルゴン） |
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反応ガス流量制御 |
マスフローコントローラ |
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ガス導入口 |
反応ガス2個、充填ガス1個、空気1個 |
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