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製品の詳細
サンプル伝送システムのカスタマイズが可能
●操作が迅速で便利：サンプル収納ケースを入れ、自動処理し、収納ケースを取り出す。
・フレキシブル基板は搬送操作を行うこともできる。
●転送速度はHi-Low間で調整できます。
●ネットワークを介した遠隔操作（オプション）が可能。
仕様
●操作が迅速で便利：サンプル収納ケースを入れ、自動処理し、収納ケースを取り出す。
・フレキシブル基板は搬送操作を行うこともできる。
●転送速度はHi-Low間で調整できます。
●ネットワークを介した遠隔操作（オプション）が可能。
仕様
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モデル |
YSP63FA |
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パターン＃パターン＃ |
RIE（DPモードオプション） |
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高周波出力 |
600W |
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反応テーブルサイズ |
W385×D362mm |
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キャビティ寸法 |
W 395×D 378×H 45 mm（内寸法） |
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はんのうガス |
2吸気システム（酸素、アルゴン） |
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反応ガス流量制御 |
マスフローコントローラ |
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しんくうポンプ |
回転式真空ポンプ（約500 L/min） |
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ガス導入口 |
反応ガス2個、充填ガス1個、空気1個 |
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外形寸法 |
W1860×D1100×H1800mm |
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