ベックマンクルトMET ONE 3411ポータブルパーティクルカウンタ | ||
MET ONE 3411ポータブル粒子カウンタは半導体クリーンルームの監視、プロセスマーク、粒子の故障排除などの応用に適している。MET ONE 3411は業界のISO 21501データの正確性と再現性を持ち、業界内のzuiクリーンな0.1 umポータブル空気粒子カウンタである。 | ![]() |
基本的な説明:
携帯用空気粒子カウンタ|MET ONE 3411を選ぶメリット
-クリーンルームを清潔に保つ
0.1 umクラスのパーティクルカウンタにより排気ファンに塵がかからない
-ホットプラグ対応バッテリ-機器が長時間連続して動作するようにする
機器はホットスワップバッテリを使用しているため、機器が充電中であっても電源を切っていても、カウントがゼロになってもバックアップ電源を使用していても停止する必要はありません
-テストウィザード(Test Wizard)により、クリーンルームを整理する際のコンプライアンスを容易に保証
***お客様の半導体生産環境で時間を節約し、エラーを解消
-逐次サンプリングシステム
MET ONE 3432型シーケンシャルサンプリングシステムを使用して、低コストのオンサイト***ソリューションを導入できます。1台のMET ONE 3411型空気粒子カウンタで32カ所まで順次サンプリングすることができる。
-柔軟な通信方式——設定が簡単で、データ転送が便利
オプションのワイヤレス、イーサネット、シリアル通信により、データをMETONEデータ管理システムに転送することができます。あるいは、文書作業を減らすために、お客様がすでに***ソフトウェアを持っていることがあります。
-直感的なユーザーインタフェース
簡単なゾーン、ロケーション、実行パラメータの構成とコピーにより、実行時間を節約できます。完全な構成を1つのUディスクにコピーするだけで、パラメータ設定エラーを解消し、時間を節約できます。サンプリング計画をパーティクルカウントグループ全体に展開することもできます!
-ISO 21501-4規格に準拠した信頼性と正確性
特別な粒子計数要件を満たすために使用され、計器と計器の間の精度と再現性はISO 21501-4規格要件に完全に合致している。
応用分野:
半導体業界に特化した空気粒子カウント:
-クリーンルーム検証モニタリング
-クリーンルームの階層化
-ISO 14644クリーンルーム検証
-クリーンルーム粒子状物質モニタリング
-製造プロセスの連続監視
−粒子汚染源の排除過程
−粒子サイズが0.1、0.15、0.2、0.3、0.5、および1 umを含むHEPAフィルタ漏れ検出
-フィルタスキャン
-高圧ガスモニタリングは簡単にガス選択メニューを通じて対応するガスを選択することができ、流量は自動的に調整される
製品パラメータ:
チャネル数 | 6 |
りゅうけい | 0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0μ |
光源こうげん | ヘリウムネオンレーザ |
じゅうりょう | 電池を含まない:15.9 kg、電池:0.66 kg |
寸法すんぽう | 33 Wx 55.9 Dx 22.9 Hcm(幅x長さx高さ) |
シャーシマテリアル | 洗浄に便利な不動態化ステンレス鋼 |
りゅうそく | 1.0 CFM (28.3 LPM) |
ゼロカウント | ISO 21501-4とJIS B 9921規格:5分間に1本または1本未満、95%信頼区間 |
適合損失 | 50000/ft 3の場合、5%でISO 21501-4準拠 |
ポンプのタイプ | 連続使用可能な特許のマルチローブ閉路循環制御ポンプ |
けいすうりつ | 0.1μmでは50%であった。ISO 21501-4とJIS B 9921によると、粒径が0.15μmより大きい場合は100% |
うんてんおんど | 10〜40°C、相対湿度10~90%、結露なし |
表示 | ?VGAカラーTFTタッチパネル |
プリンタ | 高速サーマルプリンタ |
言語 | 英語、フランス語、ドイツ語、イタリア語、スペイン語、韓国語*、日本語*、中国語 |
表示可能なzuiの大きな数値 | 9,999,999 displayed |
ちえんじかん | 15秒~23時間59分59秒 |
サンプリング/滞留時間 | 1秒〜23時間59分59秒 |
カウントアラート | 1 ~ 9999999カウント値 |
位置 | 番号:0~999、名前:テキスト記述、印刷出力資料に表示 |
データストア | 5000個のサンプル、履歴データ表示ページでスクロール可能(FIFOまたはOverflow) |
しゅつりょく | USBクライアント(バージョン1.1)USBホスト端子(バージョン1.1)RS 485 TCP/IP通信プロトコルを搭載したイーサネット802.11 g通信プロトコルを搭載した無線出力(オプション)MET ONE 2432型シーケンシャルサンプリングシステム(アラームとスキャンプローブ) |
リチウム電池、充電可能、ホットスワップ可能 | Modbus TCP, Modbus RTU, シリアルFX |
インプット | 空気速度プローブ、相対湿度/温度プローブ |
自動CDA洗浄 | CDAに接続すると、洗浄電磁弁が活性化されます |
電源装置 | 24 VDC、100-240 VAC、50/60 Hzアダプタ |
バッテリタイプ | スマートリチウム電池、充電可能、ホットスワップ可能 |
バッテリ使用時間 | zuiは3時間短い |
バッテリの充電時間 | バッテリの充電時間 |
バッテリ数を含む | 2グループ |
空気粒子計数器の生命科学基準及び委員会:
-国際標準化機構(ISO)
-ISO 14644クリーンルームおよび関連する管理環境
−ISO 21501粒子分布測定決定−クリーン空間用光散乱粒子カウンタ
-環境科学・技術研究所(IEST)
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