一、用途

ZXGP-500シリーズ明暗場シリコンシート検出顕微鏡は太陽電池シリコンシートの顕微鏡観察に適している。本装置は大移動範囲のステージ、落射照明器、長作動距離の平場消色差対物レンズ、大視野接眼レンズを備え、画像が鮮明で、裏打ちがよく、同時に偏光装置、及び高画素のデジタルカメラを備えている。本装置は暗視野対物レンズを備え、シリコンシートを観察する際の画像をより鮮明にし、太陽電池シリコンシートの「ピラミッド」のミクロ形態分布情況、及びシリコンシートの欠陥分析を測定する理想的な装置である。

シリコンウェハ検出顕微鏡は肉眼では観測しにくい転位、スクラッチ、バリなどを観察することができ、シリコンシートの不純物、残留物成分の分析も可能である.不純物としては、粒子、有機不純物、無機不純物、金属イオン、シリコン粉末ダストなどが含む、研磨後のシリコンシートは花、青、黒などの現象が発生しやすく、研磨シートを不合格にする.太陽電池シリコンシートの生産過程でよく使われる検査機器の一つである。

ぎじゅつひょうじゅん