四プローブテスターの開発-グローバルベンダー

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四プローブテスターの開発

概要：4プローブ針法は、マイクロヨーロッパからメガヨーロッパ方面の抵抗値の測定ができ、ADチップ制御を採用し、定電流出力、PCソフトウェアの動作、自動データ測定と係数補正、直読角抵抗、抵抗、抵抗率と導電率データ、中国語または英語の言語バージョン、遮蔽機能を持つ、米国A.S.T.M規格を参照。単結晶シ

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一.概要：

四探針法は、マイクロヨーロッパからメガヨーロッパ方面の抵抗量を測定し、採用することができるADチップ制御、定電流出力、PCソフトウェアの動作、自動データ測定と係数補正、直読角抵抗、抵抗、抵抗率と導電率データ、中国語または英語の言語バージョン、遮蔽機能を持つ、米国A.S.T.M規格を参照。単結晶シリコンの物理試験方法

四プローブテスターの開発

二・適用範囲：

1.導電性新材料、アルミニウム箔、銅箔、アルミニウムコーティング、炭素繊維材料、電極材料、

2.一般的なコーティング材料、フィルム、シート基材の研究。

3.大学、研究所、R&D部門は新材料の幅広いレンジ抵抗率或いはコンダクタンス性能の研究に使用する。

3・パラメータ資料：

規格型番	FT-3671 Aエコノミータイプ	FT-3671 Bオートタイプ
1.ブロック抵抗範囲	10^6～2×10^7Ω/□
2.抵抗率範囲	10^7～2×10^8Ω-cm
3.試験電流範囲	1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA, 100nA ,10nA , 1nA
4.電流精度	1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA±0.1%; 100nA ,10nA , 1nA±2%
5.抵抗精度	10^2Ω以下のレンジ≤0.5%;10^2Ω以上のレンジ≤10%;
6.PCソフトウェアインタフェース操作	PCソフトウェアインタフェース表示：抵抗、抵抗率、角抵抗、導電率、温度、単位換算、温度係数、電流、電圧、プローブ形状、プローブピッチ、厚み、プロセスマップ、レポート生成。
7.試験方式	手動メジャー	じどうそくてい
8.動作電源	入力:AC 220V±10%.50 Hz消費電力：<100W
9.誤差	小レンジ≤4%（標準サンプル結果）、マスレンジ≤10%
10.キャリブレーション方式	標準抵抗と標準サンプル
11.試験プローブ	プローブ間隔の選択：2mm；3 mmの2種類の規格、プローブ材質：炭化タングステン針、金メッキ燐銅半球形針

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