-機器紹介

SGC-10薄膜厚測定器は、媒体、半導体、薄膜フィルタ、液晶などの薄膜とコーティングの厚さ測定に適している。この薄膜厚測定器は、当社が米国new-span社と協力して開発したもので、new-span社の先進的な薄膜厚測定技術を採用し、白色光干渉の原理に基づいて薄膜の厚さと光学定数（屈折率n、消衰係数k）を測定した。薄膜表面の反射光と薄膜と基板界面の反射光とがコヒーレントに形成された反射スペクトルを分析し、ソフトウェアを用いてフィッティング演算を行い、単層または多層膜系各層の厚さd、屈折率n、消光係数kを得た。この設備の重要な部品はすべて海外から輸入され、顧客の必要に応じて完全に輸入することもできる。

-強力なソフトウェア機能

インタフェースが便利で、操作が簡単で、ユーザーはマウスを数回クリックすれば測定を完了することができます。測定された反射スペクトルデータを容易かつ迅速に保存、読み取り、処理する機能が強く、4層までのフィルムの反射率データを同時に測定することができる。一度の測定で4層フィルムそれぞれの厚さや光学定数などのデータが得られる。材料ライブラリには、従来の材料の光学定数データが大量に含まれています。ユーザは材料データベースを容易に自己拡張することができる。

-製品機能の適用性

この装置は多種の媒体、半導体、薄膜フィルタ、液晶などの薄膜とコーティングの厚さ測定に適している。

-典型的なフィルム材料は

SiO2、CaF2、MgF、レジスト、多結晶シリコン、アモルファスシリコン、SiNx、TiO2、ポリイミド、高分子フィルム。

-典型的な基材は

SiGe、GaAs、ZnS、ZnSe、アルミニウムアクリル酸、サファイア、ガラス、ポリカーボネート、ポリマー、石英。

機器は開放性のある設計を有しており、機器の光ファイバプローブは容易に取り出すことができ、機器付属の光ファイバアダプタ（図に示すように）を通じてC-mount付きマイクロゾーン（>10μm、顕微鏡増幅率に関連）フィルム厚の顕微鏡（顕微鏡は別途必要）に接続すれば、本測定器に測定させることができる。