製品の特徴

自立式4インチ急速焼鈍炉（RTP-3-04シリーズ）の製品特徴：

• 測定可能な大型サンプル：測定可能な単ウェハサンプルのサイズは4インチである。

• リモート操作可能：リモート監視モジュールを提供します。

• 圧力制御システムの革新的な設計：異なるプロセス要件を満たすために圧力を高精度に制御します。

• ストレージ熱処理プロセス：プロセスパラメータの調達を便利にし、実験効率を高め、データを調べることができる。

• 高速温度制御と高真空：最高昇温速度は150℃/s、真空度は最高10^-3Pa。

• プログラム設定とガス路拡張：異なる温度帯の正確な制御を実現でき、温度低下段の自動転送を行い、そしてプロセスメニューを保存でき、呼び出しが便利である。MFCを用いてガス流量を正確に制御し、異なる雰囲気環境（真空、窒素など）での熱処理を実現する。

• 独自のキャビティ空間設計：大型試料の温度場均一性は≦1%を保証する。

• 全自動インテリジェント制御：全自動知能制御を採用し、温度、時間、ガス流量、真空、冷却水などを含めて自動制御を実現することができる。

• 超高安全率：炉門の安全温度開放保護、温度制御器の開放権限保護及び設備の緊急停止安全保護の三重安全措置を採用し、設備の使用安全を全方位的に保障する。

• 国産焼鈍炉：自主研究開発技術と製造能力を持ち、顧客のアフターサービスニーズに迅速に対応できる。