RTP-3-08の製品特徴

• 測定可能な大型サンプル：測定可能な単ウェハサンプルのサイズは8インチ（200 mm）である。

• 圧力制御システムの革新的な設計：異なるプロセス要件を満たすために圧力を高精度に制御します。

• ストレージ熱処理プロセス：プロセスパラメータの調達を便利にし、実験効率を高め、データを調べることができる。

• 急速昇温：最高昇温速度は150℃/sに達することができる。

• プログラム設定とガス路拡張：異なる温度帯の正確な制御を実現でき、温度低下段の自動転送を行い、そしてプロセスメニューを保存でき、呼び出しが便利である。MFCを用いてガス流量を正確に制御し、最大4ウェイのガスをサポートでき、異なる雰囲気環境（真空、不活性雰囲気、酸素、水素、混合ガスなど）での熱処理を実現する。

• 全自動インテリジェント制御：全自動知能制御を採用し、温度、時間、ガス流量、真空、冷却水などを含めて自動制御を実現することができる。

• 超高安全率：炉門の安全温度開放保護、温度制御器の開放権限保護及び設備の緊急停止安全保護の三重安全措置を採用し、設備の使用安全を全方位的に保障する。

• ゾーン制御温度：ゾーン別に加熱電力を制御し、温度均一性を高める。

• 国産焼鈍炉：自主研究開発技術と製造能力を持ち、顧客のアフターサービスニーズに迅速に対応できる。