600リットルの部屋容量とPC制御を備えた生産システムTetra 600は,シリーズ生産 (クリーニング,エッチング,アクティベーション) で使用されます.

特別プラズマシステム Tetra 600-LF-PC バージョン 1

技術データ:

スイッチキャビネット:
W 600 mm、H 2200 mm、D 800 mm

部屋:
W 1000 mm、H 1000 mm、D 600 mm

部屋の容量:
約600リットル

ガス供給:
MFCを介して2つのガスチャネル

発電機:
2枚（各40kHz）
（任意：13.56 MHzまたは2.45 GHz）

自動化:
11層/製品キャリア

制御
産業用フィールドバス付きPC制御（Windows）

600リットルのチャンバー容量とPC制御を備えたTetra 600 LF-PC生産システムは,主にシリーズ生産 (クリーニング,エッチング,活性化) で使用されます.